中古 BALZERS BAS 450 #9235090 を販売中
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ID: 9235090
RF sputtering system
(3) DC Magnetron stations
CTI 8" cry-o air cooled compressor
Water manifold
RF back sputter
Substrate heat
Included manuals and drawings.
BALZERS BAS 450スパッタリング装置は、電子アプリケーション、半導体製造、および関連する研究開発の開発に使用される強力で汎用性の高いツールです。このシステムはハードウェアとソフトウェアで構成されており、蒸着プロセスで熱や光学的損傷を受けることなく、さまざまな材料を基板に正確に堆積させることができます。このユニットには、材料の種類と沈着率が慎重に制御される柔軟なソースチャンバーが含まれています。このチャンバーには、材料を酸化から保護する不活性ガスと、材料が堆積していないときに安全なシールを確保するための自動シャッターが装備されています。この基板は、スパッタリング工程中の酸化から基板を保護する不活性ガスを備えた真空チャンバー内に保持されています。チャンバーはマグネトロン陰極セットとターゲットホルダーに接続され、電気アークを作成してスパッタ材料を基板に放出することができます。アークへの電圧と電流を変更することで、材料の成膜速度と材料のサイズ、形状、分布を制御することができます。BAS 450は、精密工学および測定技術を使用して、堆積物の精度と再現性を保証します。機械内部のローターは完全に平面であるように設計されています、従って沈殿させた材料は基質の表面に均一な配分を持っています。このツールはまた、ユーザーが堆積プロセスを計画して最適化するための高度な自動マッピング技術を備えています。これにより、試行錯誤の実験時間を短縮し、基板全体で一貫した品質を維持することができます。BALZERS BAS 450には、資産が最適な状態に保たれ、スタッフを怪我から保護するための安全および制御システムが装備されています。このモデルには、レーザービーム保護装置、緊急遮断および排気システム、および他の多くの安全システムが含まれています。警報装置には、警報発生時に許可されたスタッフの可聴アラーム、ベル、警報の記録、および連絡先の詳細が装備されています。BAS 450スパッタリングシステムは、信頼性が高く、安全で費用対効果の高い方法で材料を正確に堆積することができます。その高度な自動化技術は、材料の蒸着に必要な試行錯誤実験の量を削減し、正確かつ一貫した品質を確保します。それは現代の半導体製造業界の不可欠なコンポーネントであり、その高度な機能により、幅広い電子アプリケーションを開発するための貴重なツールとなります。
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