中古 BALZERS BAS 450 PM #293650881 を販売中
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ID: 293650881
Co-sputtering systems
(2) Power supply boxes
Water supply
Pumps
Non-functional:
Safety circuit
Single switch.
BALZERS BAS 450 PMは、薄膜構造の製造に使用される工業用グレードのスパッタリング装置です。基板表面に材料をコーティングするための強力なツールであり、さまざまな電子、光学、光電子デバイスの作成に使用される均一で反復可能なナノスケール層の堆積を可能にします。BAS 450 PMは、換気の良いチャンバーを備えたコンパクトなデザインで、さまざまな設定での使用に適しています。このチャンバーには3つのスパッタリング源があり、簡単で効率的な堆積プロセスを可能にします。また、1000°Cまでの温度に達することができる基板ヒーターを備えており、スパッタリング時の基板温度を正確に制御することができます。パワフルな300W DCマグネトロンスパッタリングガンを搭載し、超高速スパッタリングレートを実現し、幅広い素材の堆積が可能です。この銃は、プロセスの要件に応じて、直接または間接のスパッタリング用に構成することができます。スパッタリングガンは、高電圧プラズマ環境を生成することができ、高効率で材料の堆積を容易にします。BALZERS BAS 450 PMにはオプションのターボポンプもあり、機械感度と基板温度制御の大幅な改善を提供します。ターボポンプはまた、より高いグレードの蒸発粒子のろ過だけでなく、チャンバー圧力の低下を可能にします。このツールは、ナノスケール構造の超微細な堆積に非常に適しています。また、使用済みスパッタリング材を簡単に除去できるドレインを搭載しています。基板やチャンバー内の粒子の蓄積を防ぐことで、安全性を高めます。BAS 450 PMには、真空チャンバーから迷惑な粒子が逃げるのを防ぐシールドも装備されています。全体的に、BALZERS BAS 450 PMは、均一で再現性のある成膜で複雑な薄膜構造を作成するための優れたスパッタリングモデルです。強力なスパッタリングガン、調節可能な基板ヒーター、高効率ターボポンプを備えており、幅広いプロセスに適しています。この装置には、汚染を防ぐためのドレインとシールドがあり、安全で効率的な操作を保証します。
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