中古 BALZERS 450 #9241801 を販売中
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ID: 9241801
Co-sputtering system
(3) DC Power supplies
RF Supply
Back sputter
Water cooling / Heat manifold
Cryo / Compressor / Mechanical pump.
BALZERS 450は、超薄型の均一な層でさまざまな表面をコーティングするために使用されるハイテクなスパッタリング装置です。このシステムは、コンパクトな寸法と普遍性により、材料研究者やエンジニアにも幅広い可能性を提供します。450は中型パッケージでワールドクラスのパフォーマンスを提供します。このスパッタリングユニットは、4極マグネトロンクラスタソース機構を採用しており、同じチャンバー内で最大4つの異なるターゲットを使用することができます。これにより、均一性の高いマルチコンポーネント層の堆積に最適です。BALZERS 450は、クイックリリースターゲットクランプと高速インストール真空シールを提供し、ユーザーは簡単にターゲットを交換し、真空チャンバーを維持することができます。これは通常、迅速で信頼性の高い層の堆積のために生産環境で使用されます。450はまた、DCとパルス出力の両方で最大3kWで動作する高出力ユニットを備えています。これにより、非常に均一で密着性が高くユニークな画層特性を実現できます。デバイスの絶対圧力バランスを最小限に抑え、真空イオン沈着(VID)プロセスを実現します。このプロセスにより、基板温度が低下しても高品質で厚い層が堆積することが保証されます。BALZERS 450は、各コンポーネントの独立したフロー制御で簡単に調整できるマルチガスソースで設計されています。これにより、複雑な預金を作成する際に高いレベルの柔軟性を得ることができます。このデバイスは、2種類の基板を同時に処理することも可能であり、ダイ、トランジスタ、およびその他の部品で複雑な表面をコーティングすることが可能です。最後に、450には、IPM、 SCADA、フィールドバスなどのPLC制御および接続されたプロセス制御システム用の高度なオートメーションが装備されています。これにより、特定のプロセスレシピをプログラミングし、プロセスステータスを簡単に監視できます。結論として、BALZERS 450は強力で高精度なスパッタリングマシンです。多種多様な表面に超薄型の均一な層を高速かつ再現可能にする、コンパクトで効率的な装置です。このデバイスは、精密で高品質の層の堆積を必要とする材料研究者やエンジニアにとって理想的な選択肢です。
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