中古 BALZERS 450 #9230026 を販売中

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製造業者
BALZERS
モデル
450
ID: 9230026
System, parts system.
BALZERS 450は、物理蒸着(PVD)用の最先端スパッタ装置です。450は、高度な技術コンポーネントを備えており、さまざまなアプリケーション要件に優れた結果を提供します。BALZERS 450は、クリーンルーム環境とコンパクトなラボ環境の両方での生産プロセス用に設計されています。マルチターゲット設計を採用しており、同一システム内で可変サイズの複数のターゲットを使用することができます。マルチターゲットオプションは、異なるターゲットを使用して異なる材料をスパッタすることができるため、プロセスの最適化に有利です。この機能により、成膜材料の組成を変更する必要がある場合にも柔軟性が向上します。450は線形上昇の基質のホールダーを使用し、コーティングプロセスの優秀な均等性そして反復性を提供します。これは、非常に高い再現性を必要とする複雑で精密なコーティングを作成する場合に特に有益です。リニアリフト基板ホルダーにより、大型基板を効率よくコーティングすることができ、プロセス時間の短縮につながります。BALZERS 450は、低電圧の無線周波数(RF)電源を使用して、ターゲット材料に向かってイオン化された粒子を加速します。このRF電源は、フィルム形成に必要なエネルギーを提供し、高い電力を供給することができます。このユニットには、プロセス中に安定した組み込み圧力を維持するための超高真空ポンプ機も装備されています。これにより、スパッタリングプロセスが可能な限り効率的であることが保証されます。450はユーザーがプロセスをプログラムし、監視することを可能にする洗練されたソフトウェアパッケージを組み込みます。また、このソフトウェアを使用すると、コーティングプロセスの蒸着厚さと均一性を監視することができ、厚さレベルを最適化するために使用できるフィードバックループを提供します。BALZERS 450は、汎用性と信頼性の高いスパッタリングツールです。その高度な機能により、さまざまなPVDアプリケーションに適しています。堅牢な設計と効率的な操作により、生産環境と実験室の両方で使用するための理想的なPVD資産となります。
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