中古 BAL-TEC SCD005 #293794942 を販売中

BAL-TEC SCD005
製造業者
BAL-TEC
モデル
SCD005
ID: 293794942
Sputter coater.
BAL-TEC SCD005は、材料科学と半導体技術の分野で薄膜蒸着プロセスに革命をもたらす最先端のスパッタ装置です。この先進的なシステムは、薄膜成膜、表面改質、および材料分析アプリケーションのための非常に汎用性の高い効率的なツールとなるさまざまな機能と機能を誇っています。SCD005の重要なコンポーネントの1つは、高性能スパッタリングチャンバーであり、さまざまな基板サイズと材料に対応するように設計されています。このチャンバーには、基板表面全体に均一なスパッタリングを保証する高度な磁界制御メカニズムが装備されているため、非常に均一で再現性の高い薄膜コーティングが可能です。このチャンバーはまた、ガス流量、圧力、組成などのスパッタリングプロセスパラメータを正確に制御できる高度なガス入口システムを備えています。BAL-TEC SCD005のスパッタリング源は、金属、酸化物、窒化物などの幅広いターゲット材料をスパッタリングすることができる洗練されたマグネトロン陰極です。マグネトロンカソードは、高い目標使用効率を実現するために設計されており、材料廃棄物の削減と運用コストの削減につながります。さらに、カソードには高度な電源とRFマッチングネットワークシステムが装備されており、長時間の運転で安定した効率的なスパッタリングプロセスを保証します。SCD005のコントロールユニットは、スパッタリングプロセスパラメータの簡単なプログラミングと監視を可能にするユーザーフレンドリーで直感的なインターフェイスです。このマシンには、in-situ基板温度測定、リアルタイムガスフロー監視、および自動故障検出およびシャットダウン機構など、さまざまなプロセス監視および制御機能が装備されています。これらの特長により、スパッタリングプロセスの制御性と再現性が高く、精密な厚さと組成制御を備えた高品質の薄膜コーティングにつながります。BAL-TEC SCD005は、スパッタリング機能に加えて、表面改質および材料分析のための高度な機能も備えています。このツールは、基板のプラズマ洗浄やエッチング、およびイオンビーム補助蒸着プロセスに使用できます。これらの機能により、高性能な電子デバイスの製造、光学コーティング、産業用途向けの保護コーティングなど、幅広い用途に対応する汎用性の高いツールをSCD005に提供します。全体として、BAL-TEC SCD005は最先端のスパッタリングアセットであり、薄膜成膜、表面改質、材料分析アプリケーションに比類のない性能と汎用性を提供します。その高度な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、高い信頼性は、材料科学、半導体技術、および関連分野の研究者やメーカーにとって不可欠なツールです。
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