中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY PSUR 100VB #293671935 を販売中
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AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY PSUR 100VBは、さまざまなプロセス用に設計された最先端のスパッタリングシステムです。このユニットは、様々な蒸着技術を使用して基板上に薄膜をスパッタすることができます。この機械は優秀な一貫性および制御を提供する極めて薄い薄膜の沈殿にとって理想的です。AST PSUR 100VBは再利用可能なソーススパッタツールで、自動プラズマ配信機能を備えています。銅、アルミニウム、ニッケル、チタン、銅タングステン、クロムなど、さまざまなフィルムをスパッタリングすることができます。スパッタリング、CVD、エッチングなどのマルチユニットプロセスにも適しています。このアセットは、完全なフィルム均一性と誤差のない動作を実現するマイクロメーター制御基板ホルダーをサポートしています。ADVANCED MODEL TECHNOLOGY PSUR 100VBは、直感的なユーザーエクスペリエンスを提供するデジタルタッチインターフェイスを誇。コントロールパネルには、プロセス、パラメータ、設定、およびプロセス環境およびその他の情報がリアルタイムで表示されます。ユーザーは、サイトの選択、堆積率、温度、タイミングなど、個々のプロセスステップをカスタマイズできます。高度なスパッタリングソース設計の助けを借りて、装置はフィルムの均一な層と正確な制御を生成することができます。PSUR 100VBは、ユーザーがPC、タブレット、またはスマートフォンからリモートでシステムを操作および管理することができるリモートコントロール機能を備えています。これにより、ユニットコンポーネントの操作と安全性の間に便利なアクセスを提供します。また、オペレータの安全のための内蔵ターンオフ機や取り外し可能なドアなどの高度な安全機能が付属しています。AST/ADVANCED Tool TECHNOLOGY PSUR 100VBは、幅広い生産ニーズに対応するために構築されています。ロードロックチャンバー、10インチフィルムチャンバー、マクロツールフィンガーを装備しています。これにより、超薄層のための正確なツーリングが保証されます。アセットには、2°の同軸回転でのカウンターバランスロータリーサポートと10段階のパターンの可能性があります。性能面では、ソーススパッタモデルは5nm/minの最大スパッタ蒸着速度を提供します。全体として、AST PSUR 100VBは、薄膜蒸着プロセスを完全に制御し、精度と精度を提供する信頼性の高いソーススパッタ装置です。直感的なタッチスクリーン、強化された安全機能、リモートコントロールなど、その高度な機能は、さまざまなスパッタリングアプリケーションに最適です。
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