中古 APPLIED VISION ARx10 #9358080 を販売中

APPLIED VISION ARx10は、研究開発用に特別に設計されたスパッタリング装置です。シングル電源とデュアル電源の組み合わせが特徴で、汎用性の高いスパッタリングアプリケーションを可能にします。このシステムの構成は、ガラス、金属、半導体材料などのさまざまな基板の効率的な処理を可能にするように設計されています。ARx10に10kWの最大RF力、90mm-200mmの距離範囲、および異なったサイズの基質を収容する500mm （x） -325mm （y） -150mm （z）の働く封筒があります。トルクパワーセクションは、3つのステッピングモーターを使用してシータとphiを制御し、スパッタリング角度を正確に制御します。2つのリフトポンプ、ターボポンプ、1つの機械式ポンプに囲まれた高真空室を備えています。独立した差動ポンピングユニットにより、スパッタリング塗布条件を変化させるために、異なる圧力範囲で基板にスパッタ成膜を行うことができます。自動化された基板処理機は、スパッタリングプロセスに対するユーザーの包括的な制御を提供します。高度な制御機能により、ガスフロー、発生角度、スパッタリング時のビームパワーなどのパラメータを監視および変更できます。チャンバーの温度は、アクティブな温度調整ツールによって一定のレベルで維持されます。さらに、このアセットには、サンプル転送を容易にするための電動ロボットアームが装備されています。APPLIED VISION ARx10は、アンバランスパッタリング、シャドウマスクスパッタリング、コンタクトスパッタリング、コスパッタリングなどのさまざまなスパッタリング技術を使用して、優れた接着特性を持つさまざまな薄膜の効率的かつ正確な成膜を可能にします。また、磁気メディアチェンジポート装置を搭載しており、素早く簡単にメディアと基板の交換が可能です。コンパクトなサイズと柔軟な設計により、ラボや生産環境での使用に最適です。直感的なユーザーインターフェイス、包括的な制御機能、効率的なメディアハンドリングユニットARx10、スパッタリングアプリケーション向けの包括的なソリューションを提供します。