中古 ANELVA ILC 3935S #9044102 を販売中

ANELVA ILC 3935Sは、薄膜蒸着プロセスを行うために使用される工業用スパッタ装置です。このシステムは、マグネトロンスパッタリングのプロセスを利用しています。これにより、幅広い材料や基板に均一な蒸着が保証されます。真空プロセスとして、鋼、プラスチック、ガラス、セラミックス、シリコンなど、さまざまな材料に高品質の薄膜を堆積させることができます。また、高い蒸着速度、優れた均一性、耐久性で知られています。ILC 3935Sは、機械内のシングルチャンバーターゲットを観察できる光学窓を備えた完全密閉型スパッタリングユニットです。このチャンバーにはターボ分子ポンプが装備されており、高い真空率を継続的に維持します。また、分散スパッタリングターゲットエリア検出ツールを備えており、正確で一貫したスパッタリングが可能です。さらに、チャンバーにはガス制御資産があり、安定した正確なアルゴン流量制御を提供します。このモデルは、プラズマ生成を提供する高周波電源によって駆動されます。高度なコントローラが付属しており、プロセスを正確に制御できます。ILCは、反応性スパッタリング力、膜厚、蒸着速度などを自動的に調整し、迅速かつ効率的なプロセス制御を可能にします。さらに、装置には温度制御センサーも装備されており、チャンバー内の温度変化をすばやく判別することができます。これにより、プロセス条件を正確に制御し、高精度な成膜を実現します。さらに、干渉防止保護装置と連続監視ユニットを内蔵し、安全と環境の両方の規制を満たすように設計されています。これにより、人員と環境の安全を確保するとともに、運用の安定性を保証します。最後に、ANELVA ILC 3935Sには操作シミュレーションマシンが搭載されており、様々なプロセスの調査が可能です。これにより、スパッタリング動作のさらなる洞察が得られ、パフォーマンス向上のためのプロセスの最適化が可能になります。