中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER X #293825749 を販売中
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ANATECH/TECHNICS HUMMER Xは、薄膜用途に適した高度なスパッタリングシステムです。スパッタリングシステムのファミリーの一部であるこのモデルは、高い沈着率と使いやすさで知られています。ANATECH HUMMER Xは、チタン、アルミニウム、クロムなどの材料を含む電極を使用してターゲット材料をスパッタし、基板に薄膜を堆積させることによって機能します。システム真空は、スパッタリングプロセスを助けるターボ分子ポンプによって作成されます。TECHNICS HUMMER Xは、3つのDifferential Mobility Analyzer (DMA)を備えており、イオン入力を正確に制御し、高精度な品質結果を提供します。このシステムには2つの磁気シールドトラップが装備されており、スパッタリング処理を妨げる不純物を除去することができます。トップレベルの性能は、均一で安定したフィルムのためにビームを切断する3つの平面マグネトロンを使用することによって達成されます。さらに、HUMMER Xには高度なリニアシャッターメカニズムがあり、スパッタリングプロセスを正確に制御できます。このリニアシャッターは、特定の角度と速度でシャットオフするためにプリセットすることができ、スパッタ材料の必要量だけが堆積されます。このシャッターはマイクロ秒の精度で制御でき、正確な膜厚制御が可能です。ANATECH/TECHNICS HUMMER Xは、0〜300ワットの電源を備えており、サーマルセンサーによる熱誘発ダメージから保護されています。その自己クリーニング特性は、一貫した高品質の薄膜を製造することができることを意味します。その全デジタル制御スパッタリングソースと基板マニピュレータは、精度と再現性を提供し、デュアルスクリーンモニターはスパッタリングプロセスと基板のリアルタイム監視を可能にします。ANATECH HUMMER Xは、金属、セラミック、ハイブリッド薄膜を含む幅広い材料で薄膜を生成することができ、ソーラーパネル、電極、ヒートシンクなどのさまざまな用途に適しています。その汎用性とユニークな機能の配列は、市場で最も先進的で堅牢なスパッタリングシステムの1つになります。
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