中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER VI-A #9032075 を販売中

ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-Aは、表面や材料の滅菌やコーティングに使用される薄膜成膜用に設計された最先端のスパッタリング装置です。高度な高圧DCマグネトロンスパッタリングシステムを採用し、成膜速度の均一性に優れています。ANATECH HUMMER VI-Aは、汎用性の高いユニット設計により、物理蒸着（PVD）、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）などのスパッタリング技術に最適です。スパッタリングマシンは、金、アルミニウム、ステンレスなどのさまざまなターゲットを使用できる回転ターゲット機能を使用しています。表示ウィンドウでは、スパッタリングプロセス中にターゲットが連続的に表示されます。ターゲットは、高品質で信頼性の高いクランプを使用して、効果的かつ安全にクランプされ、場所にロックされます。このツールは、ハイエンド技術を採用して、幅広い基板サイズにわたって長期的な動作と正確な沈着均一性を確保しています。TECHNICS HUMMER VI-Aは、デジタルタイミング、パルス制御、オートシャットオフ機能も備えており、ユーザーは蒸着サイクルを正確に制御できます。アセットには、ターゲット間の距離、応用電力、ガスの流れ、圧力、パルス幅など、さまざまなプロセスパラメータも用意されています。このモデルは、過電流保護、電圧制限、および障害検出を内蔵した広範な安全プロトコルを備えています。スパッタリング装置は極めて精度の高い設計で、成膜速度と均一性を最適化するためのクローズドループ制御システムを内蔵しています。基板とターゲット間の距離を正確に計算し、数ミクロン以内に維持する高度な位置検出機を搭載しています。これにより、堆積率の一貫性を確保することができます。HUMMER VI-Aは、5。0 x 10-3 Torrの最大圧力を提供する真空ツールと、5 x 10-9 Torrの範囲で究極の圧力を達成することができる真空ポンプ資産を備えています。このモデルには、幅広いプロセスガスが用意されており、調製プロセスの精度を向上させるための統合温度検出装置があります。ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-Aは、様々な素材や基板の薄膜成膜用に設計された汎用スパッタリングシステムです。ハイエンドコントロールユニット、自動安全プロトコル、カスタマイズ可能な蒸着機を備えたこのツールは、専門技術者や研究者の専門的なニーズに対応する強力なソリューションです。