中古 ANATECH / TECHNICS Hummer V-A #159053 を販売中

アナテック/TECHNICSハマーV-Aスパッタ装置は、薄膜の物理蒸着（PVD）のための先進的な装置です。マグネトロンスパッタリングの高い均一性とアーク蒸着の柔軟性を兼ね備えた高度な蒸着技術です。スパッタリングシステムは最大40kWのパワーを備えているため、さまざまな用途に適しています。これは、DCパルス電源とPVDチャンバーで構成されています。電源には、ユーザーがユニットパラメータを設定して監視できるグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。PVDチャンバーには、ターゲットを保持するロボットアームを備えた長方形または丸いターゲットホルダーがあります。高真空または低圧条件下で動作できるように真空封止されています。このチャンバーには、絶縁基板ホルダーとガス噴射機も備えています。アナテックハマーV-Aツールは、高い再現性と再現性を備えています。DCスパッタリングを使用して、優れた均一性と一貫した層構成でフィルムを堆積させます。このアセットは高度に自動化されており、金属、酸化物、および他のフィルムを含むさまざまな材料で使用することができます。異なった材料のために容易に調節することができるのでEVAプロセスにとって理想的であるe銃があります。このモデルには、ターゲットと基板の冷却を促進するために特別に設計された冷却装置も含まれています。冷却システムは、ターゲット、基板、チャンバーの部品を冷却する冷却コイルのセットで構成されています。冷却ユニットは、熱応力を低減することにより、堆積膜の品質を向上させるのに役立ちます。TECHNICS Hummer V-Aマシンは、クラスタツールなどの他のスパッタリング機器とのタンデムにも使用できます。これらのデバイスの組み合わせは、プロセスの柔軟性を高め、サイクルタイムを短縮するのに役立ちます。さらに、このツールには、高出力電源の誤った放電を防ぐ電子インターロック資産などの安全機能が装備されています。全体として、ANATECHHummer V-Aスパッタリングモデルは、物理蒸着用の堅牢で信頼性の高いデバイスです。幅広い用途に使用できる汎用性の高い機器で、均一性と再現性に優れた性能を発揮します。自動化された性質により使いやすく、安全な操作を確実に行うための安全機能を備えています。