中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER IV-A #9004324 を販売中

ANATECH/TECHNICS HUMMER IV-Aは、研究および生産環境で薄膜を表面に堆積させるために設計された高品質のスパッタリング装置です。DC、 RF、パルス周波数スパッタリングなど、さまざまな静電スパッタリングプロセスを使用して、さまざまな材料からフィルムを堆積することができます。この多目的で費用対効果の高いシステムは、金属、酸化物、ガラス、セラミックス、プラスチックなどの大小の基板に対応できます。スパッタリングユニットは、コンパクトでフットプリントフレンドリーなステンレススチールケースに収納されています。スパッタリングチャンバーは直径250mm、高さ400mmで、幅広い基板サイズに適しています。チャンバーは最大8̃ Paの可変圧力制御を備えているため、成膜時の膜均一性が向上します。この機械には、直径13。5インチの5つの回転可能なスパッタリングターゲットがセットされており、複数の材料から同時に蒸着することができます。このツールには、最大パルス反復周波数1100HzのRFジェネレータも装備されており、50kHzまでのプログラム可能なRFスパッタ周波数を提供します。安定したプラズマ雰囲気と最適な薄膜蒸着結果を確保するために、調整可能なガス流量および圧力レギュレータが含まれています。さらに、より良い環境制御のためのクローズドループ冷却と換気アセット、均一な基板温度制御のための熱電対制御ヒーティングモデル、さまざまなスパッタリングパラメータを簡単にプログラミングするためのカスタマイズ可能なユーザーフレンドリーなソフトウェアなどがあります。ANATECH HUMMER IV-Aは、業界トップクラスの性能であることが評価され、研究者や生産エンジニアが用途に最適なフィルム結果を得ることができるように設計されています。その多目的な設計および最先端の特徴はそれにさまざまなスパッタリングの仕事のための理想的な選択をします。