中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER II #9053245 を販売中

ANATECH/TECHNICS HUMMER IIは、産業および学術研究環境で薄膜をスパッタする際に全体的な生産性を向上させるように設計された最先端のスパッタ装置です。これにはDC電源とRF電源の両方が含まれており、さまざまなスパッタリングアプリケーションのための汎用性の高いツールとして機能します。このシステムには、4つの6インチライナー、4つのロードロックポート、および高効率の磁気サスペンションターゲットホルダーがあります。これらの機能はすべて、大きな堆積領域の高スループットスパッタリングを可能にします。また、ターゲットホルダーは、スパッタリング条件を最適化しながら、時間をかけて信頼性の高い安定した基板間距離を提供します。ユニットに統合されたソフトウェアは非常にユーザーフレンドリーであり、スパッタリングプロセスの生産性と精度を向上させるためのさまざまなオプションを提供しています。また、電源、蒸着速度、酸素互換性などの蒸着パラメータを正確に制御できます。ANATECH HUMMER IIは、他のスパッタリングシステムと比較して最大の効率を確保するために、革新的で特許取得済みの技術を使用しています。例えば、革新的な陰極設計はガス散乱を最小限に抑え、クリーンな放電と一貫した蒸着速度を保証します。設計されたガスの流れの整理は均質なフィルムの均等性および最適の熱安定性を保障します。また、このツールはユニークなデュアルチャンバー設計を備えており、両方のチャンバーで急速なサーマルサイクリングと同時プロセスを可能にします。つまり、2つの異なる材料を並列にスパッタしたり、1つの材料に1つのチャンバーを使用したり、別の材料にもう1つのチャンバーを使用したりできます。最後に、ANATECHはTECHNICS HUMMER IIのフルサービスのメンテナンスプランを提供しています。HUMMER IIは、すべての安全規制に準拠しており、ISO 9001、 EMC、およびNRTL/C規格に認定されています。これにより、資産は信頼性が高く、どのような状況でも安全に実行できます。結論として、ANATECH/TECHNICS HUMMER IIは、商業、産業、学術研究環境に最適な革新的で信頼性が高く、高効率なスパッタリングモデルです。高い安全性と信頼性を維持しながら、スループットと精度を向上させるさまざまな機能を提供します。