中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER 6.2 #9117363 を販売中

ANATECH HUMMER 6。2は、薄膜の成膜に使用されるスパッタ装置です。スパッタ原料を多用した強力な成膜ツールで、様々な用途に適しています。このシステムは、蒸着プロセスを完全に自動化することができ、精密な産業用途向けに特別に設計されています。スパッタリングユニットは、材料を基板表面に堆積させるために、高度な直流（DC）マグネトロンスパッタリング技術を利用しています。この機械は、DCスパッタリングツールと、蒸着に使用できるロータリースパッタソースで構成されています。回転スパッタ源には、回転ソース材料ホルダー、電源、およびフィードバック制御アセットが装備されています。また、オンボード温度コントローラを搭載しており、スパッタ蒸着を正確かつ一貫して行うことができます。TECHNICS HUMMER 6。2は、広帯域、単色、角度、静的、ダイナミックスパッタリングなど、さまざまなスパッタ効果を達成できます。装置には均一なフィードバック制御システムが装備されており、精密な蒸着が可能です。また、制御された均一性を維持しながら、高い沈着率を達成することができます。導体、絶縁体、半導体、誘電体など、スパッタ成膜に使用できる材料を幅広く取り揃えています。マシンはまた、多様なアプリケーションのための複数のチャンバーを提供しています。チャンバは、基板のサイズや材料の範囲を収容することができ、RF真空制御ツールが装備されています。このアセットにはロードロックチャンバーも装備されており、簡単で効率的な基板のローディングとアンロードを可能にします。ANATECH/TECHNICS HUMMER 6。2には、ガスフロー監視や自動アラームシャットオフなど、さまざまな安全機能があります。このモデルには、オフボードの液体冷却と強制ガス冷却システムからなる高度な冷却装置が装備されています。ANATECH HUMMER 6。2は、あらゆる産業用途に適した高度なスパッタユニットです。最先端の材料、信頼性の高いオートメーション、安全機能を備えているため、薄膜成膜アプリケーションに最適なソリューションです。