中古 ANATECH Hummer 10.2 #9221457 を販売中

ANATECH Hummer 10。2は、基板上に薄い層の材料を堆積するように設計された高度なスパッタリング装置です。このシステムは、金属、合金、酸化物、窒化物の均一な膜を、優れた接着性と上昇/落下時間で製造することができます。また、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを介して優れた柔軟性と制御を提供し、単純な沈着パラメータの最適化を可能にします。Hummer 10。2は、パルスDCスパッタリングプロセスを使用して、制御された薄膜の成長を保証し、基板電荷を事実上削除します。その10 「x4」スパッタ領域は、複数の層の大面積の堆積を可能にします。チャンバーの設計は、基板上の任意の場所で均一な薄膜蒸着を可能にする、マルチゾーンの均一性ユニットを含みます。このチャンバーには、避難およびプラズマ制御プロセス用の多数の入口バルブと出口バルブ、および正確な温度制御用の基板ヒーターも備えています。この機械には、使いやすい手動および自動フロー制御を備えたガスバルブアレイが装備されており、ユーザーはガス操作と真空操作を切り替えることができます。圧力センサーを使用すると、チャンバー圧力を監視し、ツールの誤動作をすばやく特定できます。Hummer 10。2には、スパッタリングプロセスから基板を保護するための熱絶縁シールドや、均一な制御のための磁気シールドなど、さまざまなシールド保護デバイスも付属しています。ハマー10。2はメンテナンスが簡単で、さまざまな安全対策が施されています。これには、障害、過圧、または低圧が発生した場合にモデルを自動的にシャットダウンするインターロックアセットが含まれます。コンパクトで統一された設計により、現場での簡単な設置とメンテナンスが可能です。全体として、ANATECH Hummer 10。2は、幅広い材料研究用途向けの優れたスパッタリングシステムです。調節可能な基板加熱、ガス流量、圧力制御により、薄膜蒸着を正確に制御できます。スパッタ面積が大きく均一なため、多くの基板で高品質の薄膜を製造することができます。このユニットは、ユーザーフレンドリーでメンテナンスしやすいパッケージで正確な制御を提供します。