中古 AMCI GT7777 #89910 を販売中

AMCI GT7777スパッタリング装置は、薄膜成膜のための包括的なシステムソリューションです。開発・生産用途向けに薄膜成膜を可能にするスケーラブルで使いやすいツールです。GT7777は、優れたプロセス制御と迅速なスパッタリング結果を費用対効果の高いパッケージで提供するダイナミックなシステムです。AMCI GT7777ユニットは、少量生産、研究開発、パイロットラインの使用に最適です。GT7777スパッタリングマシンは、優れたプロセス制御と優れた性能を確保するために、最新の技術と汎用性の高いコンポーネントを利用しています。高性能な薄膜スパッタリング源、エッチング用の高出力プラズマ源、ターゲットスパッタリング材料の高速変化のためのターゲットカルーセル、コーティング用ガス補助スパッタリング、強力なin-situ真空圧力制御ツール、および困難な薄膜アプリケーション用の可変電力マイクロ波プラズマ源が含まれています。さらに、このアセットには、自動ターゲットスパッタリング圧力制御、適応可能なプロセスレシピ、高度なプラズマプロファイル制御、高度な測定および分析ツールなど、多くの自動機能が搭載されています。AMCI GT7777は、絶対的な精度で成膜特性を測定します。このプロセスは慎重に監視および制御することができ、反復可能で一貫した薄膜の結果を得ることができます。このモデルはまた、フレキシブルなプラットフォームを提供し、掃除中、スパッタリング前、ウェーハエッジのトリミング、成膜後の処理などのプロセスのアドオンを組み込むことができます。GT7777の洗練された設計は、単純なアルミニウム薄膜から複雑な合金や複合材料まで、さまざまな薄膜材料の柔軟な堆積を可能にします。この装置は、平坦性、均一性、電気特性など、さまざまな用途要件を満たす薄膜を製造することができます。AMCI GT7777は使いやすく、費用対効果が高いため、開発アプリケーションと生産アプリケーションの両方に最適です。これは、迅速かつ簡単なセットアップのために設計されており、費用対効果の高いパッケージで優れたプロセス制御を提供します。また、様々な薄膜成膜用途において、迅速かつ正確な薄膜成膜を実現します。