中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #9354651 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600は、高品質、高精度の薄膜コーティングを製造するために設計されたスパッタ成膜装置です。スパッタリングシステムには、4kWのDCマグネトロンを搭載し、さまざまな用途に対応した幅広いフィルムタイプを製造できます。このユニットは、挿入可能なスパッタソース、自動基板交換ステーション、および取得ワークステーションで構成されています。それは高精度および長期信頼できる操作のために設計されている最先端の機械です。AMAT ATON 1600スパッタリングツールには、最適なスパッタリング性能のために設計されたさまざまな機能が組み込まれています。スパッタ源は、スパッタ材料の酸化を制限し、高密度フィルムを可能にするRF駆動プロセスを備えています。さらに、そのソースは、各ターゲットの独立した電力レベルを可能にする調整可能なターゲット間の基板距離を提供することができます。さらに、スパッタ時間を素早く調整できる設計により、スパッタリングプロセスの制御性が向上します。APPLIED MATERIALS ATON 1600は、自動基板交換ステーションも備えています。基板の動きを最小限に抑え、基板の制御性を向上させ、薄膜コーティングの均一性を向上させます。また、洗練されたソフトウェアインターフェイスにより、基板タイプ、ターゲットの回転速度、パス数、ガスポンプレベル、イオン源の強度など、さまざまなオプションを簡単に設定できます。最後に、ATON 1600スパッタリングアセットは、スパッタ蒸着プロセスのリアルタイム監視をユーザーに提供する取得ワークステーションを備えています。ユーザーは、蒸着均一性、速度、表面粗さなどのフィルム特性を表示し、最高品質の薄膜コーティングを確保するために、電源、圧力、ガスの流れなどを制御することができます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600スパッタリングモデルは、高品質の薄膜コーティングを製造するために設計された最先端の高精度で信頼性の高い機器です。RF駆動スパッタソース、自動基板交換ステーション、収集ワークステーションなど、その機能により、ユーザーはスパッタリングプロセスを簡単に構成および監視して、可能な限り最良の結果を得ることができます。