中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600/2 PREHT #9281105 を販売中

AMAT Aton 1600/2 PREHTは、材料の物理蒸着に使用されるスパッタ装置です。このシステムは最大の効率を目指して設計されており、材料を正確に堆積する能力に貢献する多くの機能を備えています。金属や絶縁体など、ほぼすべての材料を堆積させることができ、多くの用途に適した汎用性の高いツールとなっています。Aton 1600/2 PREHTはコンパクトな設計を採用し、生産フロアのスペースをより効率的に使用できます。このユニットには2つのターゲットがあり、さまざまなフィルムスタック構成のために異なる材料を基板に堆積させるために使用することができます。ターゲットのセラミックフィードスルーピンは、安全な連絡先とメンテナンスと漏れを最小限に抑えることができます。また、高度なRFオートチューニングマシンも含まれています。このツールは、生成された周波数をさまざまな基板に自動的に調整することができ、より良い温度とレート制御を提供します。Aton 1600/2 PREHTには、プロセスの効率、精度、再現性を向上させる多くの機能が含まれています。精密真空アセットは、均一な沈着を保証し、汚染のリスクを排除します。多種多様なシャッター、センサー、コントローラ、ゲージを使用して、モデルの各チャンバーに一貫した圧力環境を確保します。また、自動的にスパッタリング中の圧力を監視および制御することができるクローズドループ圧力制御装置、ならびに空気圧サンプル交換機構が装備されています。Aton 1600/2 PREHTは、強力なオートメーションおよび制御システムも備えています。複数のソフトウェアとハードウェアを使用してユニット管理を改善し、コストを削減します。これは、ユーザーがスパッタリングプロセスをカスタマイズすることを可能にするグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。また、スパッタリングプロセスの障害や偏差を検出できる動的プロセス監視および故障診断も組み込まれています。全体として、APPLIED MATERIALS Aton 1600/2 PREHTは、最高の効率と精度を提供する強力なスパッタリングツールです。堅牢なオートメーションと制御アセットにより、信頼性と再現性に優れた本番環境を実現します。そのコンパクトなデザインは生産フロアのスペースを節約し、その汎用性の高いターゲットモデルは、ほぼすべての材料の堆積を可能にします。この装置は、薄膜成膜や半導体製造など、多くの用途に役立つツールとなる多くの機能を備えています。