中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482 を販売中
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ID: 9379482
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200Lは、幅広い材料蒸着用途に使用するために設計された高精度スパッタリング装置です。このシステムは、マルチソース、マルチマグネトロン構成を使用しており、各マグネトロンを個別に調整して最適なプロセス制御を行うことができます。AKT 1200Lユニットは、マルチステージのシーケンシャルソース/ターゲットテーブルメカニズムの周りに構築されており、ソースに対するターゲットの正確で再現性の高い位置決めを可能にします。これにより、複数のソースから均一なレイヤーを正確にスパッタすることができます。ソース/ターゲットテーブルは、角度スパッタリング用に構成することもでき、複雑な形状や構造の堆積を可能にします。AMAT 1200L機には、静的なEMIシールドコントロールキャビネット、およびプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が装備されています。PLCは、ソースのサイクリングや各ソースのパワーレベルなど、ツールプロセスを制御するために使用されます。EMIシールドは、スパッタリング圧力、アルゴンフロー、RFパワーなどのプロセスパラメータの正確な測定と一定の監視を容易にします。また、1200Lは、振動を最小限に抑え、均一な蒸着を向上させる高度な低振動、磁気サスペンション技術を備えています。これは、小さな永久磁石の配列によって生成された魅力的な力によってソース/ターゲットテーブルを一時停止することによって達成されます。アセットの最先端のオートメーションと組み合わせると、アプライドマテリアルズの1200Lを使用して、アルミニウム、銅、クロム、タングステン、チタン、およびその他の合金、ならびにこれらの材料の酸化物を堆積することができます。モデルは、特定のアプリケーション要件を満たすために、いくつかのバージョンで利用可能です。全体として、AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200Lは、高精度スパッタリング用途に最適な装置です。マルチソースのマルチマグネトロンシステムにより、均一な層の堆積が可能になり、高度な自動化により一貫したプロセス制御が可能になります。磁気サスペンション技術は振動を最小限に抑え、EMIが低いため正確な測定が可能です。要するに、AKT 1200Lは多種多様な材料蒸着に理想的な選択肢です。
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