中古 ALCATEL / MEIVAC HEDA 2460 #9233936 を販売中

ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460は、材料の薄膜を基板に堆積させるために設計された汎用性の高いスパッタリング装置です。それは優秀なステップカバレッジおよび表面品質の均一なフィルムの沈殿物を作り出すことができる高いスループットスパッタリングツールです。MEIVAC HEDA 2460は、スパッタリングプロセスを正確に制御するさまざまなコンポーネントと機能を備えています。ALCATEL HEDA 2460の中心には、スパッタリング源に高い磁場を作り出す内部磁石を特徴とするマグネトロンがあります。これにより、プラズマは最大10,000 Kの温度に達することができ、高いスパッタ速度を可能にします。このシステムにはイオン源も含まれており、フィルムのイオン爆撃と表面硬化を提供します。さらに、このユニットはin-situシャッターを備えており、正確に定義された厚さと特性を持つ多層の堆積を可能にします。このマシンはまた、ユーザーが各層の堆積パラメータを正確に定義できるプログラマブルコントローラを提供しています。これらには、特定のプロセス要件を満たすためのパルス幅、パワーレベル、および蒸着周波数が含まれます。これにより、堆積プロセスとその全体的なパフォーマンスを最適に制御できます。コントローラはまた、蒸着プロセスを監視し、スパッタ速度、均一性、再現性に関するフィードバックを提供します。これにより、ユーザーはパラメータを素早く調整して均一な堆積を確保し、堆積挙動を予測することができます。HEDA 2460はまた、ツールのすべての機能と設定にアクセスするための直感的なインターフェイスを提供するタッチスクリーンディスプレイを提供しています。これにより、ユーザーは便利にパラメータを調整し、堆積プロセスを監視し、将来の使用のためのレシピと堆積レシピを保存することができます。ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460は、複雑な薄膜成膜プロセスに最適で、スピード、柔軟性、および正確な厚さ制御を提供します。これらの機能により、さまざまなアプリケーションで高性能スパッタリングされた薄膜を製造するための費用対効果の高いソリューションとなります。