中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9258696 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650は、正確な蒸着プロセスを達成し維持するために、可変的な高電圧電源と堅牢な制御を備えた先進的な全機能スパッタリング装置です。この最先端のPVDシステムは、光コーティングおよび磁気データストレージアプリケーションに最適な薄膜の産業堆積用に設計されています。ADIXEN SCM 650は、効率的な高電圧電源、精密な磁気フィルタ、フルサイズのスパッタリングチャンバーで構成されています。このチャンバーは、最適な熱管理のために設計されており、非常に正確な薄膜蒸着のための強力な均一な磁場が含まれています。高効率の高電圧電源は、薄膜の真空蒸着に強力で正確で一貫した電力を提供します。電源は最大2.5kVの高電圧で動作可能で、0.5kWから20kW（クラスタ構成）までのスパッタ電源を提供します。また、電源は時間と温度の平準化された制御曲線による電力の変化を可能にします。ALCATEL SCM 650の精密な磁気フィルターは、大気中の不純物をろ過することにより、均一なスパッタリングプロセスを保証するのに役立ちます。磁気フィルターはまたフィルムの沈着の均質性を維持し、基質の均一な薄膜を作成します。PFEIFFER SCM 650は、均一性とプロセス制御を最大化するためのさまざまな機能を備えています。ウエハモニタリングユニット、精密切替機、温度調節器、酸素モニターを内蔵しています。また、マルチゾーンガス配電ツールやデュアルガスインジェクタなどの高度なプラズマ制御システムも提供しています。ガスインジェクション資産は、温度制御された陽極と陰極でガスの流れと温度制御を正確に制御することができます。SCM 650は、光学薄膜コーティングや磁気データストレージメディアなどの用途において、高精度な薄膜成膜に最適なモデルです。均一で一貫した薄膜蒸着を実現する一貫した高効率スパッタリングを提供します。十分に統合された装置は信頼でき、正確なプロセスのための有効な、精密な制御を提供します。