中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9253767 を販売中
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ID: 9253767
Sputtering system
With loadlock
RF/DC Sputtering (with or without bias)
Ionic cleaning
Process gas: Argon, Nitrogen
Stainless steel chamber, 26"
Diameter: 650 mm
Fitted with port-holes and flanges
Port pumping, 6"
(2) Magnetron targets, 8"
Water flow: 15 l/min
Pressure: 6 bar
Compressed air pressure: 6 bar ±0.5
Dry nitrogen pressure: 1.5 bar
Manuals included
Load lock: 6" Substrates
Substrate holder: (4) Stations
(6) Indexed positions
(4) Transfer positions
(2) Sputtering positions
Rotation: 1 to 30 rpm
Vertical translation: 50 mm - 100 mm
One 3/4 automatic shutter
RF Generator: 2000 W
DC Generator: 3000 W
Pump:
Load lock:2012 A Rough rotary vane pump: 15 m³/h
CHAMBER: 2033 A Rough rotary vane pump: 35 m³/h
Secondary: 5402 CP Turbomolecular pump: 380 l/s
INTER-SEAL: 1004 A Rough rotary vane pump: 4.5 m³/h
Measurement:
Load lock: PIRANI PB 122 Rough vacuum
Chamber: PIRANI PB 111 Rough vacuum
BAYARD ALPERT BN 111 Secondary vacuum
BARATRON MN 121 Process vacuum
(2) Gas lines
Machine control : Programmable logic controller
SIEMENS Simatic with an OP 395
CE Marked
Power supply: 380 V, 3 Phase, 18 kVA.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650は、産業用および学術用に特別に設計された高性能スパッタリング装置です。ADIXEN SCM 650は、信頼性の高いPLCベースのオートメーションシステムの厳格な制御の下で、多種多様な金属および非金属の薄膜蒸着材料の正確かつ費用対効果の高いスパッタリングを提供します。この堅牢なスパッタリングユニットは、特に実験室や研究開発環境において、コストに敏感なプロセスに最適です。モジュラーマグネトロンスパッタリングプロセスを使用して、ALCATEL SCM 650は、優れた接着性、均一性、およびステップカバレッジを備えた金属、合金、および非金属コーティングを堆積します。その高度なプロセス制御により、qPCR、光放射分光法、オーガー曲線が可能になり、薄膜蒸着を改善するための温度と時間の向上が可能になります。SCM 650はまた、異なる基板用に微調整を実装することを簡単にします。PFEIFFER SCM 650の大型ポンピングチャンバーは、高品質の建設材料で構築されており、加工チャンバーにアクセスするための電動ゲートを備えているため、基板の追加または取り外しが容易です。また、漏れのない環境を確保するためにドア用の溶接Oリングが付属しています。このマシンはWebブラウザを介してリモートで監視および操作することができ、ユーザーは重要なツール情報だけでなく、リアルタイムのプロセス制御およびプロセスデータ監視にアクセスすることができます。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650には、モデル背面に取り付けられた高圧縮アルゴンアセットを含むアクティブなガス制御が装備されています。また、ヘリウムの消費を最小限に抑えるためのパージオリフィスも備えています。ADIXEN SCM 650の汎用性の高い設計により、薄膜コーティングプロセスをさまざまなアプリケーションに簡単にカスタマイズできます。例えば、2つのスパッタリングターゲットを同じマグネトロンソースに接続することで、デュアルカラー構成が容易に実現でき、その他のさまざまな構成もさまざまなインストールオプションを通じて実現できます。ALCATEL SCM 650の頑丈な構造は、最も困難な環境でも最高の効率と耐久性で動作するようにテストされています。また、インターロックやアラームなどの一連の安全機能も備えており、ユーザーや機器全体に最大限の保護を提供します。結論として、SCM 650は、比類のない性能と信頼性を提供する信頼性の高い、ユーザーフレンドリーなスパッタリングシステムです。これは、精密で費用対効果の高い薄膜蒸着プロセスを必要とする工業用および学術用途に最適なソリューションです。
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