中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #9192498 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600は、薄膜材料を基板に堆積させるために使用される強力なスパッタリング装置です。この汎用性の高いシステムは、ユーザーがプラスチックモデル上の金属コーティングの作成や集積回路の生産のために、任意のアプリケーションのためにそれをカスタマイズすることができ、非常に適応可能です。このユニットは、3ターゲットスパッタリングチャンバーで構成されており、高出力のDCマグネトロン源を使用しています。源は保護されたケーブルによって部屋に接続され、スパッタ上塗を施してあるべきサンプルはそして部屋の中のスパッターホールダーに取付けられます。統合された真空機械は、フィルム蒸着に最適なレベルでチャンバー圧力を維持します。このツールの主な構成要素は、堅牢で高精度な粒子ビーム源です。非常に均一で制御可能なイオンビームを生成し、任意の成膜速度や組成に合わせて自由に調整できます。ソースには優れた精度範囲があり、信頼性と正確な操作を促進するいくつかの機能が組み込まれています。これにより、多種多様な材料蒸着作業に適しています。ADIXEN SCM 600にはガス導入資産もあり、蒸着工程中に反応ガスを適用して接着剤やハードコーティングを形成することができます。これは、プログラマブルなレシピの包括的な範囲を含み、ユーザーは簡単に任意のスパッタリングプロセスを繰り返すことができます。モデルは400mm x 250mmの最高サイズまでサンプルを扱うことができクロム、タングステン、アルミニウム、銅および金を含む複数のフィルムの選択を、提供します。スパッタリング機能に加えて、ALCATEL SCM 600は、ユーザーが機器のパフォーマンスを監視およびレビューするためのいくつかのオプションを提供します。これには、任意の時点でチャンバ内の蒸着速度と温度と圧力を示すグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれています。GUIには、指定された範囲を超えた場合に警告するシステム診断とアラームも表示されます。結論として、SCM 600は信頼性と汎用性の高いスパッタリングユニットであり、幅広い薄膜蒸着アプリケーションに適しています。粒子ビーム源は一貫して均一なフィルムを提供することができ、GUIはユーザーが簡単に蒸着プロセスを監視および制御することができます。