中古 AJA Orion 5 #293817160 を販売中
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ID: 293817160
ウェーハサイズ: 4"
Sputtering chamber, 4"
(5) Confocal sputtering guns
(3) 700-Watt Direct Current (DC) power supplies
(2) 300-Watt Radio Frequency (RF) power supplies and matching networks
(1) 50-Watt Radio Frequency (RF) power supply and matching network for substrate etch
Load lock
Rotating platen.
AJA Orion 5は、さまざまな薄膜技術プロセス用に設計されたスパッタ装置です。これにより、高度なPV、ディスプレイ、タッチスクリーン、マイクロエレクトロニクスデバイス用の透明酸化物、窒化物、金属誘電体フィルムを作成できます。5チャンバーの真空スパッタリングユニットを内蔵し、厚みを最適化した高精度フィルム層を作成することができます。5チャンバーの機能により、異なるスパッタ構成を使用することができ、さまざまなアプリケーション要件に柔軟性を提供します。このマシンには、スパッタリングターゲットの正確な位置決めのための自動6軸、またはX、 Y、 Z、ロール、傾き、回転ロボットチャンバーが含まれています。これにより、スパッタ分布と幾何学的パラメータを正確に制御できます。フードの設計はまた基質上の均一な沈着率を助ける調節可能な磁界を提供します。オリオン5は、アルミニウム、シリコン、クロム、金、その他の化合物など、さまざまな材料に対してさまざまなスパッタリングターゲットを提供しています。また、追加の堆積技術なしに複数の基板上のスパッタ粒子の直接堆積を提供します。このツールはユーザーフレンドリーで、ユーザーはプロセスの状態を監視するだけでなく、圧力、温度、ガスの流れ、スパッタ電流、時間などのパラメータを監視することができます。また、チャンバーの自動通気やガスボトル接続などの安全機能も備えています。AJA Orion 5には強力なソフトウェアも含まれており、圧力、電圧、電流、温度、蒸着圧力、基板サイズなどのスパッタリングパラメータを制御できます。このソフトウェアは、厚さや均一性の情報などのデータ分析機能や、プロセスを最適化するために使用できるその他のフィルム特性も提供します。全体として、Orion 5はユーザーフレンドリーなパッケージで柔軟性、信頼性、精度を提供する高度なスパッタリングアセットです。5チャンバー設計、複数のスパッタリングターゲット、強力なソフトウェア機能により、高度な技術プロセスのための高品質の薄膜を製造することができます。
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