中古 AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 #293809480 を販売中
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ID: 293809480
ヴィンテージ: 2011
Sputtering system
Deposition chamber: 15.6" x 14" OD, Vacuum chamber with flange
O-Ring seal
Chamber bottom: 16.5" CF With copper gasket
No substrate heater
(1) Argon Mass Flow Controller (MFC)
(5) DC guns
No RF guns
Target: 3"
RF substrate bias:100W
Chamber body:
CF Viewport with integrated shutter, 6"
Turbopump / Gate valve (8" CF)
Vacuum gauges ((2) 2.75" CF, (1) 1.33" CF)
Substrate holder flange
Vent valve
Load-lock (10" CF)
2.75" CF and 6" CF Ports
(2) Removable stainless steel chamber liners
Integrated instrument rack
Heavy duty caster
Leveling feet and powder-coated table top
Chamber light mounted table top
Hinge for chamber top
Water mainfold with flow sensor
Vacuum pumping:
700 l/s PFEIFFER wide range turbopump with controller
Cables and delayed vent valve
8.2 CFM Alcatel dry
Lobe type backing pump with integral valve
Interconnecting plumbing
(3) DC Supplies
RF Supply
Power: 600 W
Automated 4-Way DC Switch box
Cable set
Vacuum gauge:
GRANVILLE-PHILLIPS 307 Gauge controller
(3) Head outputs with Nude ion gauge, convectron gauge and Baratron gauge heads: 100 mTorr
QUARTZ Crystal thickness monitor:
Single low profile
Crystal sensor
Heat sink
Controller
Oscillator
Cable
(10) Crystals
Substrate holder:
(3) Accommodates, 3"
Continuous motorized rotation: 0 to 40 RPM, Controller
Standard transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
Custom transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
RF/DC Biasing capability
Power supply: 100 W
Gas handling:
Mass flow controlled gas line (Ar): 100 SCCM with pneumatic isolation valve filter
Pressure control / Vacuum valves:
VAT Series 64 Closed loop
Automatic pressure control
Isolation gate valve
Manual vent valve
CF Size: 8"
Load lock:
Low volume aluminium chamber
Single billet
Removable loading door
Magnetic transfer arm with custom susceptor
Full range vacuum gauge
Wide range: PFEIFFER 80 Litres p/s
Compound turbomolecular pump with delayed vent
TMP Controller
Interconnecting plumbing
(4) CFM Alcatel mechanical backing pumps
Isolation gate valve: 10" CF
Main chamber with load-lock adaptor flange
2011 vintage.
AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8は、薄膜成膜技術の大幅な進歩を象徴する最先端のスパッタリング装置です。この汎用性の高いシステムは、高精度と薄膜蒸着プロセスの制御を必要とする研究および産業用途の要求に応えるように設計されています。このユニットは、マイクロエレクトロニクス、光学、材料科学など、さまざまな分野で活躍する研究者やエンジニアに好ましい革新的な機能と能力を備えています。ATC Orion 8の主な特徴の1つは、基板上の薄膜の精密かつ均一な蒸着を可能にする高度なマグネトロンスパッタリング技術です。この機械は、マグネトロンスパッタリング源を使用してガス原子をイオン化し、基板表面に堆積させることで、優れた厚さ制御と均一性を持つ薄膜を作成することができます。AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8は、高性能な薄膜を必要とする幅広い用途に最適です。ATC Orion 8には最大8つのスパッタリング源が装備されており、複数の材料層を堆積し、複雑な薄膜構造を作成する柔軟性をユーザーに提供します。このツールは、金属、合金、酸化物などの幅広いターゲット材料を提供し、ユーザーは特定の要件に応じて堆積プロセスをカスタマイズすることができます。また、回転基板ホルダーを備えており、膜厚分布が均一な大面積での成膜が可能です。AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8は、制御および監視機能の面で、容易な操作と蒸着プロセスのリアルタイム監視を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。ガスフロー、パワーレベル、蒸着時間などの蒸着パラメータを正確に調整し、望ましいフィルム特性を実現する高度なプロセス制御ソフトウェアを搭載しています。さらに、フィルムの成長と厚さをリアルタイムでモニタリングできるin-situ診断ツールを搭載し、高い再現性と一貫したフィルム品質を保証します。ATC Orion 8は拡張性を念頭に置いて設計されており、ユーザーは進化する研究および生産要件を満たすために追加の機能と機能を備えたシステムをアップグレードすることができます。ユニットは、長期的な信頼性とパフォーマンスの一貫性を確保するために、高品質のコンポーネントと材料で構築されています。さらに、コンパクトな設置面積を備えているため、スペースが限られた実験室環境に適しています。全体として、AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8スパッタリングツールは、高精度、柔軟性、および信頼性を必要とする薄膜成膜アプリケーション向けの最先端のソリューションです。高度なマグネトロンスパッタリング技術、複数のスパッタリング源、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたATC Orion 8は、研究者やエンジニアに新しい薄膜材料や構造を探索するための強力なツールを提供しています。アカデミアでも業界でも、AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8は、薄膜成膜能力を向上させるための信頼できる選択肢です。
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