中古 AJA INTERNATIONAL ATC 2000-F #293663166 を販売中

AJA INTERNATIONAL ATC 2000-Fは、高度な成膜技術のための汎用性の高いスパッタリング装置です。このシステムは、太陽電池の製造、薄膜成膜、ウェハレベルのパッケージングなど、さまざまな高精度アプリケーションで使用できるように設計されています。アルミニウム、銅、クロム、銀などの金属部品の高い蒸着率と精密な制御が可能です。この機械には強力な真空技術が含まれており、シングルターゲットシステムの最大3倍のフィルム速度の蒸着が可能です。AJA INTERNATIONAL ATC-2000Fスパッタリングツールには、ターゲットに最大100kWの電力を供給するRF発電機が装備されています。これにより、10〜4 mbarに達することができる真空チャンバー内の最大均一性を備えた高い蒸着速度が保証されます。このアセットは、マルチターゲットモデルから独立して最大8つのターゲットを操作できます。これは、単一のコントローラで最大24のターゲットのプロセスを制御することができます。これにより、大きな表面の均一なコーティングが可能になり、さまざまな基板サイズを異なる材料でカバーすることができます。また、装置は0。1-500アングストローム/分から沈着速度を制御する機能を持っています。PLC （Programmable Logic Controller）により、完全に自動化された操作と制御が可能です。それは均一なコーティングのために必要であるターゲットおよび基質の精密な直線を可能にします。高度な性能監視システムにより、ユニットのプロセス時間とパラメータのメンテナンスと最適化が可能です。ATC 2000-Fスパッタリングマシンは、エンクロージャアセットとリークセンサーを備えた安全関連ツールで構築されています。安全モデルは、有害ガスの存在下での沈着を抑制し、汚染のない環境を維持します。ATC-2000Fスパッタリング装置は、さまざまな用途に薄膜を堆積させる真空環境で信頼性の高い性能を提供します。その精密な制御と高い沈着率の機能は、大型表面上の様々な材料の耐久性の高いコーティングの生産を容易にします。その堅牢な安全システムと洗練された性能監視ユニットは、成功した安全な動作を保証します。