中古 AIRCO TEMESCAL HRS 2550 #89776 を販売中

AIRCO TEMESCAL HRS 2550は、AIRCO/Temescalが先進的な薄膜蒸着アプリケーション用に設計したスパッタリング装置です。誘電体、金属、半導体の各種基板への成膜に広く使用されている、高信頼性、大容量システムです。HRS 2550は、高精度で反復可能な結果を得るための強力なデュアルプラテンスパッタリング装置を備えています。ユニットは、最大4つの基板を収容することができ、追加の汎用性のために各チャンバーに調整可能なシャッターを備えています。AIRCO/TEMESCAL AIRCO TEMESCAL HRS 2550マシンには、高度なデジタル制御モジュールが装備されており、正確なパラメータ管理と材料の高精度成膜を可能にします。デジタル制御には、マルチプロセッサツールモニター、内蔵言語インタプリタ、リアルタイムクロック、統合モーションコントローラが含まれます。これにより、アセットはユーザー定義以外のモードで動作し、さまざまな薄膜アプリケーションのプリセットパラメータを選択できます。AIRCO/Temescal HRS 2550モデルには、磁気ドライブスイッチングやデュアルシャッターメカニズムなどの高度なスパッタリング部品も含まれており、蒸着精度と精度を保証します。磁気ドライブスイッチング装置はスパッタリング沈殿物の速度の容易で、精密な選択を可能にし、精密な、反復可能な結果を可能にします。このデュアルシャッターメカニズムは、正確な膜厚制御を提供し、不均一な基板上でも正確で反復可能な薄膜蒸着を可能にします。AIRCO/TEMESCAL AIRCO TEMESCAL HRS 2550システムはまた、薄膜材料の精密エッチングを可能にする、内蔵の反応イオンエッチング（RIE）機能を備えています。RIE機能は、複雑な多層パターニングを可能にし、高精度の薄膜研磨とパッシベーションを提供します。全体的に、AIRCO/Temescal HRS 2550は高性能で大容量のスパッタリングユニットで、精密で再現性のある薄膜蒸着用に設計されています。機械は非常に耐久性があり、信頼性が高く、高度なデジタル制御、正確なスパッタリング部品、および反応イオンエッチング機能が装備されています。そのため、ハイエンドの薄膜成膜やエッチング用途に最適なツールです。