中古 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3290 #9247552 を販売中
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ID: 9247552
Sputtering system
With wafer heater power supply
(2) MKS 250 Controllers
Remote source meter
FLUKE 1722A Instrument controller
Wide range thin film monitor control
FLUKE 8840A Digital multimeter
Wafer loader control
Inner locking and interface chassis control
VARIAN Vacuum controller
Shutter monitor control
VARIAN 8800RS Vacuum ionization gauge
RF Matching controller
Cassette motor control
VARIAN Turbo-V-301-AG Controller
VARIAN Temperature monitor
Power cabinet
(2) AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 6286A DC Power supplies
Power: 20 V, 10 A
Deposition source control
(2) CPI CPW-12/480 Power supplies
PLASMATHERM HFS1000D RF Generator
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
(2) EDWARDS OQDP40 Vacuum pumps
NESLAB System III Chiller
With THORNTON Digital control
TOSHIBA 4200FA System.
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290スパッタリング装置は、薄膜のスパッタリングと様々なディスプレイ、オプトエレクトロニクス、およびその他の科学的用途向けに設計された最新の高性能機器です。HP 3290システムは、完全に自動化されたマルチソースプラットフォームであり、プロセス制御ユニットが統合されており、高い反復可能なプロセスを実行できます。AGILENT 3290ユニットには、4つの独立した磁気支援スパッタリングソース、回転、傾斜、移動スパッタリングターゲット、カウントダウンタイマーがあります。成膜プロセスを最適化するために、すべてのコンポーネントを異なるストリップレート、角度、およびその他のパラメータに調整することができます。KEYSIGHT 3290の多面的なソフトウェア機能により、データ管理と結果の簡単な転送、プロセス情報へのアクセス、集中的なライブラリ機能が可能です。それはフィルムの厚さ、サイズ、均一性および他の変数およびフィルムの沈殿の他の重要な側面の広範囲の追跡を提供します。HEWLETT-PACKARD 3290マシンには、さまざまな材料および基板用のクローズドループ自動圧力制御および分析ツールが付属しており、現場でのプロセス制御を可能にします。このアセットは、圧力と品質の測定値の一貫性を維持する独立したベンチトップ計装を備えた2段の燃焼室を備えたガス混合モデルを特徴としています。その構成可能な電源は、最大4つのプラズマ源を実行することができ、均一でクリーンな蒸着が実現されます。3290スパッタリング装置は、自己完結型自動熱真空ユニットを備えており、部品をグローブボックス内に配置して最大250°Cの温度範囲を制御し、サンプル基板を機械的に固定することができます。このセットアップにより、高価な真空チャンバーやその他の高価な部品が不要になります。AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290は、優れた再現性と一貫した結果を提供し、コストと材料廃棄物を削減しながら生産性を向上させます。その汎用性のために、HP 3290は、制御された環境で迅速で高品質のフィルムをスパッタしようとするあらゆる研究所や研究センターに最適な機器です。
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