中古 VARIAN 3290 #186031 を販売中

製造業者
VARIAN
モデル
3290
ID: 186031
ウェーハサイズ: 6"
Wafer handler kit, 6".
VARIAN 3290は、エレクトロニクスおよび光学アプリケーション用の基板の精密金属化のために設計された汎用スパッタリング装置です。強い磁場を使ってイオンを加速させ、標的物質、通常は銀や金のような金属を爆撃し、表面原子を解放して基板表面に凝縮させます。このプロセスは、所望の膜厚に達するまで繰り返されます。3290システムは高度で、さまざまな機能と属性を提供しています。高いスパッタリングの均一性と再現性で、素早く簡単にセットアップできる堅牢な設計です。モジュラー設計により、薄膜成膜、誘電体コーティング、バリアコーティングなど様々な用途に対応することが可能となり、複雑なパターンや200nmまでの均一な膜厚の高品質層の製造が可能となります。VARIAN 3290の効率的な自動チューニング周波数検出により、手動調整の必要がなくなり、基板表面全体の均一性が向上します。そのマルチターゲットスパッタリング技術は、被覆面積が大きいため、基板全体に優れたフィルム均一性を提供します。3290は、ユーザーのエクスペリエンスとパフォーマンスを向上させる追加機能の配列を提供します。使用する基材を自動的に検出するインテリジェントセンサーを備えており、使用する素材に適した設定に調整できます。その適応制御は、プロセス時間を大幅に短縮し、マシンの全体的な歩留まりを向上させます。VARIAN 3290のオプションのロータリーサンプルホルダーにより、複数の基板を同時に蒸着することができ、生産性がさらに向上します。3290には、プロセス情報を視覚的にフィードバックするグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が付属しています。このツールには、繰り返し可能なプロセスのパラメータを保存し、柔軟性と信頼性をさらに高めることができるレシピアセットも装備されています。全体的に、VARIAN 3290は高度なスパッタリングモデルで、幅広いカスタマイズ可能なオプションを提供し、比類のない性能、繰り返し、精度で高品質のフィルムを製造することができます。非常に効率的なスパッタリング技術により、スループット、生産性、歩留まりが向上し、現代の多くのコーティング要件に最適です。
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