中古 ULTRATECH XLS 7500 #9166601 を販売中

ULTRATECH XLS 7500は、パナソニックの次世代ウェハステッパーです。これは、ウェーハのオンとオフの金型配置のプロセスを自動化する高度な光学イメージングプラットフォームです。XLS 7500は、前世代のステッパーの最大7倍の速度でウェーハのバッチを製造することができます。ULTRATECH XLS 7500の光伝送装置は、解像度、フォーカスシフト、焦点深度の面で優れた性能を提供します。また、焦点範囲が広いため、直径300mmまでのウェハを撮影する場合に最適な柔軟性が得られます。XLS 7500は、必要に応じて露出パラメータを自動的に調整するために、スマートイメージングシステムで設計されています。これにより、露光時間を最小限に抑えた高解像度イメージングを実現します。ULTRATECH XLS 7500は、自動調整モータドライブユニットで設計されています。これにより、解像度スペクトル全体にわたって正確かつ迅速なウェーハ位置決めが可能になります。モータ駆動は手動調整の必要性を排除し、ウェーハ全体の画質の一貫性を確保します。XLS 7500は、広大なビューチェーンとキャプチャエリアも提供します。これにより、より多くのワープを単一の露光にロードすることができ、より高いスループットを可能にします。ステッパーはまた、自動的に欠陥ウエハを識別し、除去する統合欠陥制御マシンを備えています。これにより、プリスティンウエハだけが処理の次の段階に送られるようになります。ULTRATECH XLS 7500は、包括的なビューアライメントスイートも提供します。使用可能なフィールドの数を自動的に最大化し、画像キャプチャ前に各フィールドのアライメントを調べます。これにより、パターンがウェーハ全体に正確に配置され、ミスアライメントが最小限に抑えられます。XLS 7500は、インラインメトロロジーシステムとの統合も可能です。これにより、各ステッパー露出後の各ダイ配置およびイメージングステップの結果を定量的に測定することができます。これにより、製造工程において高い精度が得られます。全体として、ULTRATECH XLS 7500は、前世代のステッパーの最大7倍の速度でウェーハのバッチを生成するように設計された強力で効率的なウェーハステッパーです。強力な光学イメージングツールと、統合された欠陥制御およびアライメントシステム、および統合モータ駆動アセットを組み合わせています。また、包括的なビューチェーンとキャプチャ領域、およびインラインメトロロジーシステムとの統合を提供し、高精度な生産プロセスを可能にします。