中古 STRASBAUGH 6DS-SP CMP #166127 を販売中
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販売された
ID: 166127
Lot of spare parts:
(Qty 1) CYLINDER ASSEMBLY EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE PTFE FLOW 24V EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) PRESSURE SWITCH XDCR, E/P, 0-100PSIA EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) XDCR, E-P, FAIRCHILD EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) SENSOR PROXIMITY IND, 3mm, NPN EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) PS, 15VDC, 3.0AMP, HCCI EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) AMPLIFIER SVOBRSHL B3OA8 PART No:104601 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) BELT 40DP, 190 TOOTH EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) BELT 40DP, 180-TOOTH EURIS STRASBAUGH
(Qty 37) PIN CONNECTOR SOCKET M39029/32-26 EURIS STRASBAUGH
(Qty 46) PIN CONNECTOR M39029/31-241 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE SOLENOID 24VDC EURIS STRASBAUGH
(Qty 4) BELT MXL5/16WD, 290 TOOTH EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) SENSOR PROXIMITY 236323 CAP, NDN, 10-30V EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) SENSOR VAC SMC ZSE5B EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) BELT 90xL037 EURIS STRASBAUGH
(Qty 5) O'RING SILICON 6.75ID x .210 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE SOLENOID VAC 3WAY NC EURIS STRASBAUGH
(Qty 5) O'RING SILICON 2.875ID x 0.154 C/S,S EURIS STRASBAUGH
(Qty 10) O'RING SILICON WHITE 2.0ID (50.8mm) x 0.154 (3.91mm) C/CS,S 30
SHORE STRASBAUGH
(Qty 5) O'RING SILICON 3.375ID x 0210 C/S,S EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) CONN/ASSY 225241 JOSLYN SUNBANK KIT # SA619-11 EURIS STRASBAUGH
(Qty 2) CABLE ASSEMBLY MOTOR/ENCODER CS-ELEC EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE SOLENOID VAC 3WAY N.O EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) CONN/ASSY JOSLYN-SUNBANK KIT # SA619-10 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) CONN/ASSY JOSLYN-SUNBANK KIT # SA619-9 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) MTR/ENCODER PART No: 225230 ASSEMBLY BEI/E25 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) REGULATOR MODIFIED Z-158 95-16253 EURIS STRASBAUGH.
STRASBAUGH 6DS-SP CMP装置は、半導体ウェーハに高性能表面コンディショニングを提供するために特別に設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。このユニットは、半導体ウェーハ上の多種多様な表面構造を仕上げるために拡張ダイヤモンド表面を使用した自動3軸制御マシンです。CMPマシン6DS-SP、 6「、8」、10「、12」、および非標準（顧客固有の）直径ウェハを研削およびラッピングすることができます。ウエハーの表面仕上げは、微粒子仕上げから50nm（ナノメートル）程度の微細な研磨面まで可能です。さらに、6DS-SPツールを使用して、凹面曲率とタイトなプロファイル制御を備えたミラー状のラッピングサーフェスを実現し、望ましい構造ジオメトリを達成することができます。このアセットは、ダイヤモンド研削ホイールとスラリー研磨材を使用して、半導体ウェーハを高精度かつ高精度に効率的に研削、ラップ、研磨します。研削砥石はロボットアームに取り付けられており、スラリーを潤滑剤として使用してウェーハ表面が平坦で滑らかになるように高速かつ正確に移動します。ピエゾ駆動アクチュエータは、ウェーハをそのままにした垂直方向と角度方向の動きを変換し、ウェーハ全体に均一な平面仕上げを提供します。STRASBAUGH 6DS-SP CMPモデルには、マルチパターン、多軸スキャンコントロールドライバが装備されており、研削工程中にウェーハの正確な動きを提供し、ウェーハのすべての部分が均等に接地、ラップ、研磨されていることを保証します。この制御により、各ウェハで実現される表面プロファイルに関しても、高精度かつ再現性が得られます。最後に、6DS-SP CMP装置は、デバイスをシステムに統合し、機械のさまざまな部分の状態と性能を監視することを可能にする高度な診断機能を提供します。この高度な機能により、マシンはよりスムーズで安全に動作し、ダウンタイムを最小限に抑え、ユニットのパフォーマンスを最適化できます。要約すると、STRASBAUGH 6DS-SP CMPマシンは、極めて精度と精度でウェーハを研削、ラッピング、研磨することができる高性能、自動化されたマシンです。このツールは、プロセスの高品質と効率を維持するさまざまな性能と安全機能を誇っています。
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