中古 DISCO EAD 6340R #9262549 を販売中

ディスコEAD 6340は、半導体ウェーハのダイシング用に設計された自動精密スクライビングおよびダイシング装置です。このシステムは、プローバーマウントされたレーザダイサーを使用しています。これは、スクライビングレーザーと、ウェーハのスクライビングとダイシングのためのダイヤモンドチップ付きダイシングブレードの両方を組み込んだツールです。このユニットは、最大2インチのウェーハサイズ、およびスクライブピッチの精度まで、10 200µmのスクライブ手当の広い動作範囲を統合±300µmています。EAD 6340は、高性能のCO2レーザスクライビングを使用しており、正確な溝とマイクロチップ機能を生成します。ディープラインスクライブ用途では、レーザーヘッドは、スクライブ後の編集時にクリーンなカットを提供し、高反射および吸収基板をスクライブするように設計されています。また、レーザーヘッドは高い剛性を備えており、ウェーハ加工において非常に高い精度を確保しています。ダイシング用のEAD 6340には、ダイシングブレードを冷却するための熱風ジェット機と、ダイシングブレードの切断角度と距離を調整するためのレーザースキャンツールが含まれています。さらに、ダイシングブレードの位置と動きを正確に制御できる高精度の3次元モーションコントローラを搭載しています。高度なモーションコントロール技術により、プロセス条件が変化しても高速処理をサポートします。さらに、EAD 6340の統合された自動アライメントモデルは、基板上のウェーハスライスを正確にアライメントするための組み込みビデオ機器を利用しています。高精度なアラインメントに加え、高度なウェーハエッジ認識ユニットを使用して、プロセスの均一性とウェーハ歩留まりを向上させます。EAD 6340には、高圧安全弁やガスや粒子の排出を防ぐことで環境や作業者を保護する発煙回収機などの安全機能が統合されています。さらに、このツールのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、効率的なウェーハ処理のための簡単で直感的な操作を保証します。全体として、DISCO EAD 6340は、半導体ウェーハの精密スクライビングとダイシングのための有能で汎用性の高い自動アセットです。その洗練されたモデル設計により、一貫して正確で信頼性の高いパフォーマンスを実現し、さまざまな複雑な製造作業に対応します。