中古 DISCO DFM M200 #9023012 を販売中

ディスコDFM M200は、めっきされた表面とウェーハを切断して仕上げるために使用されるスクライビングおよびダイシング装置です。このシステムには、切断用のX軸ステージと、ダイシングテープの位置決め用のY軸ステージが装備されています。また、ウェーハを切断するための高精度スピンドルモーターと、高速ローラードライブを装備しています。DFM M200には、8インチウェーハ転送トレイ、チャック、多機能コントローラ、アライメント用レーザー干渉計、集塵ユニット、マテリアルハンドリングマシンも装備されています。このツールは、厚さ200 μ mまでのウェーハをスライスすることができ、最大スライス速度は20mm/secです。このアセットには、高精度な切断、高速切断、メッキ面のダイシングと研削のための多方向の作業環境など、多くの機能があります。このモデルは、ウェーハを切断しながら、高い精度と高い処理速度を提供します。スピンドルモータは、最大切断速度2mm/秒と精度を備えた機器を提供します……