中古 DISCO DFL 7160 #9351738 を販売中
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ディスコDFL 7160は、薄膜加工用の高度な「スクライビング/ダイシング」装置です。ウェハベース材料、LCD、 LEDディスプレイなどの薄膜の精密ダイシング、スクライブ、加工を可能にする完全自動化システムです。高速CCDラインセンサー、精密ダイナミックフォーカス、インライン3軸駆動グラインダー、レーザー精密制御などが特徴です。ディスコDFL7160スクライブ/ダイシングユニットは、高速ラインスキャンCCDセンサーを備えています。このセンサは連続的なデータをキャプチャし、4。5mmの広い範囲で最大60ドット/ミリの解像度をキャプチャできます。DFL-7160はまた、ダイシングとスクライビング中にウェーハの表面を正確に焦点に保つ精密なダイナミックフォーカスを備えています。統合された精度ASICは、X、 Y、およびZ軸のグラインダーの速度と動きを制御し、制御された反復可能な表面仕上げを提供します。このレーザーは、酸化層、酸化熱層、および幅広い基材を含む薄膜構造のスクライブ精度を提供します。DFL7160はタッチ画面のGUIおよび自動操作モードのおかげで使いやすく、維持しやすいです。フルオペレーション制御、モニタリング、プロセスステータスレポートをサポートします。このマシンはまた、エラーや故障などの不規則性を記録し、報告するプロセス制御ログチェックをサポートしています。完全自動化されたツールとして、ディスコDFL-7160スクライブ/ダイシングアセットは薄膜加工に最適です。薄膜加工と費用対効果の高いダイシングとスクライビングの両方に、高効率、精度、簡単な操作を提供します。ICインテグレーション、パッケージング、MEMSデバイスなど、さまざまなプロセスに使用できます。この機器は、電動ステージ、振動アイソレータ、耐候性のある密閉キャビネットなど、さまざまなアクセサリーでも利用できます。
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