中古 DISCO DFL 7160 #9227609 を販売中

ID: 9227609
ヴィンテージ: 2011
Laser dicing saw 2011 vintage.
ディスコDFL 7160は、さまざまなアプリケーションにおいて比類のない精度と自動化を提供する強力なスクライビングおよびダイシング装置です。このシステムには、完全に自動化されたスクライバーヘッドと、調整可能な幅のウェーハチャックを備えた高精度のアライメントおよびインデックス加工治具が含まれています。ステンレススチール製コレットを備えたスピンドルモーターを採用し、ウェーハを確実に保持します。スピンドルモータには、0〜7,200 rpmの調整可能な速度範囲が装備されているため、必要な速度でスクライブすることができます。ディスコDFL7160は、スクライビングとダイシングのためのウェーハを正確に配置するための2ポジションウェーハアライメント治具も備えています。ウェハチャックの動きは、ステップモーターとエンコーダを備えた手動駆動機によって行われ、アライメント治具の正確な位置決めが可能です。このツールには、正確な全円切断用のプログラム可能なインデクサと、複数の切断方法をサポートする2つの位置決め治具も組み込まれています。ウェーハは、手動またはカセットローダーを介して自動的にロードおよびアンロードすることができます。DFL-7160には、シリコンや石英などの硬質材料、ガラスなどの柔らかい材料、エポキシや樹脂などの非金属材料など、さまざまな材料を切断することができる自動ソー資産もあります。このモデルのソー装置には、自動ツールチェンジャーと0〜15,000rpmのプログラム可能なスピンドル速度が装備されています。ソーには、プログラマブルな深さ制御機能も含まれており、必要な深さで切断することができます。DFL7160は、最適なスクライブとダイシング性能のために高電圧プラズマ源を利用しています。このプラズマ源は、最大500 QHV (Quartz High Voltage)のエネルギー出力を生成することができます。その調整可能な電流設定により、プラズマ源をさまざまなアプリケーションで必要とされる正確なダイシング速度に校正することができます。DISCO DFL-7160には、プログラマブルなユーザーインターフェイスを備えたPCベースのコントローラも含まれています。これにより、オペレータは使いやすくカスタマイズ可能なインターフェースを使用して、システムのすべての機能を制御できます。直感的なユーザーインターフェイスには、内蔵のヘルプ機能と、幅広い材料の効率的な切断を容易にするための切断プログラムのライブラリが含まれています。DFL 7160は、幅広い用途に対応する信頼性の高い汎用性の高いスクライビングおよびダイシングユニットです。その精密なスクリバーヘッド、包括的なこぎりマシン、強力なプラズマソース、カスタマイズ可能なユーザーインターフェイスは、さまざまな生産ニーズに比類のない精度と自動化を提供します。
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