中古 DISCO DFL 7160 #9217368 を販売中

ディスコDFL 7160は、ディスコ株式会社の高度なスクライビングおよびダイシング機器です。これは、高精度のウェーハスクライビングとダイシングプロセスに役立つように設計されています。このシステムは、高性能スクライビングツールと高精度のダイシングブレードを使用して、優れたチップダイシング精度を実現し、スループットを向上させます。DISCO DFL7160は、スクライブ機能とダイシング機能の両方のための統合された構造と組み込みコントローラを備えた大規模かつ堅牢なマシンフレームを備えています。ダイシングヘッドには、高解像度ビジョンユニットを搭載した高速かつ高精度なX-Yポジショニングテーブルを搭載。ビジョンマシンは、ウェーハに対してダイシングブレードの位置と向きをすばやく検出することができ、正確かつ再現可能なダイシング操作を可能にします。このツールには、処理の再現性を高め、各ウェーハと一貫した結果を得るためのデジタルフィードバックコントローラが含まれています。さらに、駆動電流や電圧などのツールパラメータをプリセットレベルで維持し、スクライビング/ダイシング操作ごとに適切な処理を保証する個別のツールレギュレーション制御も含まれています。また、0。15mm DFL-7160 8mmまでの厚さ範囲で、最大200mmまでの幅広いウエハサイズに対応することも可能です。さらに、シリコン、ヒ素ガリウム、サファイア、その他の化合物など、さまざまなウェーハ材料に使用できます。ディスコDFL-7160は、正確なスクライビング精度とダイシング精度により、高い歩留まりを実現します。また、ダイシング時のウェーハ損傷の可能性を低減することも可能です。その結果、半導体やその他の敏感部品の製造など、高収率と製品品質が不可欠な用途に適しています。