中古 DISCO DFL 7160 #9163719 を販売中

ディスコDFL 7160は、ディスコ株式会社の自動スクライビング・ダイシング装置です。半導体、ディスプレイ、メディカルエレクトロニクス業界のニーズを切断するための高精度で効率的なソリューションを提供するように設計されています。DISCO DFL7160は、完全自動化されたダイシングツールとデジタルビジョン検査システムを組み合わせています。420mmのウェーハチャックと高屈折性ポイントディスクを備え、安全なコンビネーションウェーハチャッキングを実現しています。ダクトコンディショニングユニットは、24個のファンスピードモータと強力な真空を使用してチャンバー内の空気と湿度を放散し、タイトな精度仕様内で一定のチップアレイを維持します。また、最小限の接触で高速測定が可能な高度なFOUPハンドリングツールと、独立したサーボモータを備えたウェーハ搬送アセットを内蔵しており、正確な搬送位置決めが可能です。ディスコ独自のブレードシェーピング技術により、幅広いウェーハ素材で刃先の安定性を確保し、超滑らかな切断を実現します。また、精密な切削アライメントのための自動レベリングテーブル、デブリ回収用のデュアルブラッシングステーション、および高いダイシング歩留まりを提供するシングルパス/マルチパス制御を備えています。リアルタイムのデジタルビジョン検出装置は、9MPセンサーと0。1ミクロンの解像度で最大50x光学倍率を備えています。バイナリ/グレースケールの画像比較、明るいエッジとダークエッジの検出、および高精度プロセス制御のための適応しきい値を持つ高度なアルゴリズムが含まれています。また、プログラム可能な故障検出ロジックとPIチェッカーモジュールを提供し、部品の正しい動作を保証します。このユニットは、これらのすべての機能を組み合わせて、ダイアフラムダイシング精度に最適な結果を提供し、平均処理速度は1時間あたり最大1,800ウェーハです。半導体部品の高精度、効率的な生産に最適なソリューションです。