中古 DISCO DFL 6360 #293592202 を販売中

ディスコDFL 6360は、半導体業界で広く使用されているスクライビングおよびダイシング装置です。集積回路を作成するために使用される精密なシングルウェーハツールです。DFL 6360は、半導体ウェーハの表面を横切って回路を作成するレーザービームによって駆動されます。ビームが動くにつれて、回路設計の金属層とパターンをエッチングする非常に細かい溝をカットします。この精度により、個々の層の機械的摩耗とエッチングが可能になります。システムの主な定数には、レーザー出力電力、エネルギー、周波数、露光時間が含まれます。さらに、ディスコDFL 6360には、障害物が検出された場合にレーザービームを停止させる高速応答インターロックユニットも内蔵しています。このレーザー制御機械は危険なライトへのレーザーおよび機械部品の露出を最小にするために制御を最適化するように設計されています。また、DFL 6360は、ウェーハへのビームの高精度なアライメントのための自動ビジョンツールを備えています。このアセットは、エンコーダと2Dマシンビジョンモデルで構成されており、コンポーネントを正確に配置し、ビームを自動的に調整してウェーハ表面の所望のパターンをトレースします。このマシンは、ウェーハ上のビームの焦点距離を正確に測定するために、広い領域のオートフォーカス装置を備えています。これにより、露出が単一の領域に集中しないことが保証され、回路の信頼性に問題が生じる可能性があります。DISCO DFL 6360は、効率的で費用対効果の高いスクライブおよびダイシングシステムです。それは使いやすく、維持しやすい頑丈で強力なツールであり、最高レベルの精度と信頼性を提供します。