中古 DISCO DFD 681 #9362734 を販売中
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ID: 9362734
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2001
Dicing saw, 6"
Universal chuck table, 6"
Wheel cover, 4"
Flange, 4"
Spinner table, 6"
Spindle, 4"
Spindle power: 2.2 kW
Revolution: 30000 RPM
Flange with tooling
Microscope camera with micro and macro
Full automation wafer handling
Pressure pump
Automatic alignment system
Non contact setup
(2) Cassette stages for 6" or 8" cassettes
X-Axis
Y-Axis
Theta axis
Power cable: 3m
2001 vintage.
ディスコDFD 681は、レーザーアブレーション技術を使用して、医療機器、オプトエレクトロニクス、半導体などの用途向けに高精度の部品や部品を作成するスクライビング/ダイシング機器です。このシステムは、レーザー加工の精度と速度を提供するために設計されています、材料の広い範囲をスクライブとサイコロを提供しながら、。ディスコDFD681ユニットには、UV励起エキシマレーザーを使用した最先端のレーザーアブレーションマシンが組み込まれています。このレーザーツールは、高度な周波数倍増KTP結晶をベースにしており、最大172mJのUVレーザー出力を波長248nmで提供し、バースト速度は最大1kHzです。このレーザーアセットは、ポリマーフィルム、基板、半導体に至るまで、スクライブ材料やサイコロ材料に使用できるため、大きな柔軟性を提供します。また、3軸モーションステージを備えた自動フォーカシングヘッドを採用しています。フォーカシングヘッドは、フォーカシングスポットサイズを正確に制御し、モーションステージは高速スクライビングのための速度と精度を提供します。フォーカシングヘッドは、精密制御されたスクライビング/ダイシング機構と組み合わされており、スクライビングとダイスの正確なサイジングと配置を可能にします。また、DFD 681はクローズドループ冷却装置を備えており、基板材料の効率的で信頼性の高い熱冷却、ならびにツーリングおよびレーザーヘッドを確保するために使用されます。このデュアルゾーン冷却システムは、材料の燃焼や加工を防ぎ、品質のスクライビング出力を保証します。さらに、このユニットは、ドリルまたはスクライビング/ダイシング機構の上に基板材料を駆動するために使用することができる精密制御基板ムーブメントを備えています。結論として、DFD681は高度なレーザーアブレーションベースのスクライビング/ダイシングマシンであり、スポットサイズとスクライビング/ダイシングパラメータの集中を正確に制御するだけでなく、高速性能を提供します。このツールは、精密で高精度な部品と部品を必要とするアプリケーションに最適です。さらに、アセットの自動焦点ヘッド、堅牢な冷却モデル、および精密制御基板ムーブメントにより、幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。
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