中古 DISCO DFD 681 #293749283 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ディスコDFD 681は、ディスコ・ハイテック社製の高速スクライビング/ダイシングマシンです。集積回路（IC）の製造に使用される半導体基板に正確なフォトマスクパターンを生成するように設計されています。この生産品質のスクライビング/ダイシングマシンには、高精度、2軸位置段、精密空気軸受スピンドル、冷却ステージが装備されています。さらに、このマシンには、フォトマスクの登録、オリエンテーション、および継続的な検査のための統合ビジョン装置が装備されています。スキャンカメラとエッジ検出器を内蔵したビジョンシステムは、高精度のフォトマスク登録を保証します。ディスコ・DFD681は、フォトマスク全体を1つのパースで素早く露出できる高性能レーザーを使用しています。レーザーの露出領域は、低強度および高収差のために継続的に監視され、高分解能パターニングが保証されます。2軸段は加工中の正確な配置を可能にし、エアベアリングスピンドルはレーザーの正確な制御を提供します。冷却された段階は基板温度を安定させ、基板の反りを引き起こす可能性のある熱応力を最小限に抑えます。DFD 681には、効率的な自動ローディングおよびアンローディングユニットと、周囲光からのフォトマスク露出を最小限に抑えるクローズドループ制御があります。機械はプログラムし易く、いろいろ処理のための柔軟性を提供します。それは大きいデータセットを貯えるための大きい記憶容量のユーザーフレンドリーな制御用具を提供します。この資産は、最高精度で最も複雑なフォトマスクパターンを製造するように設計されています。その信頼性と汎用性の高い設計は、最先端の集積回路の製造のための生産および開発ラインの要求を満たしています。DFD681は、最先端のフォトマスクパターンの大量生産に最適です。
まだレビューはありません