中古 DISCO DFD 651 #9395442 を販売中
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ID: 9395442
ウェーハサイズ: 6"-8"
Fully automatic dicing saw, 6"-8"
BBD and NCS
Porous chuck, 8"
Monitor
PC.
ディスコDFD 651は、コスト効率の高い製造を可能にするコンパクトで軽量な設計を特徴とするスクライビングおよびダイシング機器です。ウェーハの加工において最高の精度と速度を得るために特別に設計されています。このシステムは、3相ロボットを使用して、作業エリアに沿ってディスクを正確に移動させます。これは、2つの軸でスクライブし、プリセットプログラムに沿って3つの軸で切断することができる完全に自動化されたプロセスを備えています。さらに、ウェーハの回転を監視するためのビジョンユニットと、簡単なオペレータプログラミングのための直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えたカスタマイズされたコントローラも内蔵しています。このマシンのスクライビング部分は、レーザービームを使用して、ウェーハに事前に定義されたパターンを高精度で高速にスクライビングします。レーザービームの動きと位置は、三相ロボットによって正確に導かれ、エンコーダのフィードバックによって正確に測定されます。このツールは、精度を維持しながら、1時間あたり最大240個のウェーハをスクライブすることができます。アセットのダイシング部分には、ウェーハに焦点を当てた複数のレーザーが含まれ、ウェーハの選択した部分を急速に加熱します。ヒートアップセクションの拡大と急冷により、定義されたラインに沿って細かい亀裂が発生します。このプロセスはまた、切断の精度と速度を確保するために、三相ロボットによって監視および調整されます。DISCO DFD651は、ダイシングブレードを冷却して潤滑する冷却モデルを内蔵しており、摩耗を軽減します。さらに、この装置の設計により、他のプロセスと統合することが可能になり、封じ込め輸送システムは、ほこりのない処理を保証するのに役立ちます。全体として、DFD-651は生産性が高く、費用対効果が高く、信頼性の高いユニットで、既存の生産ラインに簡単に統合できます。ウェーハの正確なスクライビングとダイシングを高速かつ効率的に行えるため、大規模な生産に最適です。
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