中古 DISCO DFD 651 #9196088 を販売中

ディスコDFD 651は、株式会社ディスコ・ハイテックが開発したスクライビング・ダイシング装置です。これは、20年以上にわたって使用されている同社の革命的な「スクライビング技術」に基づいています。このデバイスは、複数のコンポーネントを使用して、高精度のスクライビングとダイシング性能を実現します。このシステムは、実際のスクライビングツールを含む「ヘッド」、デジタル制御されたエンドエフェクター/ウェハステージ、ビデオ検査、フルサイズスクライバベースで構成されています。高速スクリバーヘッドには、レーザービームと2つのレーザー検出器、3つのダイヤモンドスクライビングツール、2つのナイフブレード、2つのステープラーヘッドが装備されています。2つのナイフブレードは最大50ミクロンの切断が可能で、3つのダイヤモンドスクライビングツールは最大3ミクロンのラインをスクライビングすることができます。デジタル制御されたエンドエフェクタ/ウェハステージには、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）によって制御されるX軸ポジショニングテーブルが装備されています。この段階では、基板を維持しながら、スクライバーヘッドがスクライビング軌道に沿って移動することができます。さらに、ステージは、アプリケーションに応じて、パターン化された基板やランダムに堆積した基板の様々なカットを行うようにプログラムすることができます。また、表面汚染を検出し、ウェーハの平坦性と表面圧延を評価するために使用される高度なビデオ検査技術を備えています。検査装置は、レーザーとカメラを使用して基板の表面を監視するさまざまなセンサーで構成されており、PLCへのリアルタイムのフィードバックを提供します。スクライブでもダイシングでも、DISCO DFD651は優れたパフォーマンスを発揮します。スクライビングツールと高度な検査システムは、高精度で信頼性の高い結果を提供し、高精度の高品質基板の加工を可能にします。