中古 DISCO DFD 641 #9384712 を販売中
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ディスコDFD 641は、特殊なスクライビングダイシング装置です。スクライビングおよびダイシング操作を迅速かつ確実に実行するように設計されています。システムの中核は、スクライビングまたはダイシングヘッドです。この頭部は精密レーザー光学および炭化物のscribeの刃およびダイシングの刃が付いている電動化された、プログラム可能な単位です。また、精密な位置決めのための組み込みのX-Yステージと回転ステージも含まれています。例えば、1ミクロンスクライブカットの場合、ヘッドは特定の速度で特定のパターンでX-Yステージを移動するようにプログラムされます。ディスコDFD641ユニットのもう1つの主成分は、さまざまな工程を含むサイドテーブルです。ユーザーのニーズに応じて、複数のスクライブライン、ウェーハ分離、クリーニング、検査、ウェーハの薄型化、エッチングなどが含まれます。このテーブルは、ポストダイシング操作のためのウェハマウントとウェハアンマウントの両方に対応できます。DFD 641には、いくつかの安全およびオートメーション機能も含まれています。まず、内蔵のレーザーダイオード安全マシンは、危険なレーザー操作を認識し、そのような場合にはツールをオフにします。第二に、アセットは、クラッシュやその他の中断後に自動的に停止して操作を再開するようにプログラムすることができます。3番目に、モデルはまた、大規模な操作を可能にする複数のアクションを同期するようにプログラムすることができます。全体として、DFD641はユーザーに信頼性と正確な操作を提供する高度なスクライビングダイシング装置です。定期的なスクライビングやスライス操作から、自動化された同期されたプロシージャまで、すべてを処理できます。統合されたX-Yおよび回転式ステージは、信頼性の高い安全機能と組み合わせて、DISCO DFD 641を多くのアプリケーションに理想的な選択肢にします。
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