中古 DISCO DFD 641 #9246586 を販売中
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ID: 9246586
Dicing saw
NCS and BBD installed
Porous chuck
Maximum air spindle: 60,000 RPM.
ディスコDFD 641は、半導体産業のための先進的な製造設備と柔軟な生産ソリューションのリーディングプロバイダーであるディスコ株式会社が開発した最先端の高効率スクライブおよびダイシング装置です。このシステムは、高速精密切断を必要とする半導体ウェーハ向けに設計されており、直径2〜20インチの幅広いウェーハサイズに最適化されています。ディスコDFD641には全方向の強制送り駆動(OMI-DFD)が搭載されており、ウェーハ表面全体の正確な切断と性能を保証します。このドライブユニットは、調整可能な圧力機械と潤滑を使用して、切削工程中の高い送り速度と非常に低い摩擦を維持し、傷の損傷やその他の傷の可能性を低減します。このツールはまた、ブレードからウェーハの破片をきれいにして除去する非常に効果的で効率的な方法を提供する特許取得済みのリンス資産で設計されています。この洗浄モデルは、定期的な洗浄とメンテナンスに必要な時間と労力を大幅に削減します。さらに、DFD 641には独自のウエハークランプ装置が搭載されており、スクライビングやハンドリング時にウェハークランプを機械テーブルに確実に固定するように設計されています。このクランプシステムは、取り扱いおよび処理中のデリケートウェーハの損傷や破損を軽減するのに最適です。DFD641はまた効果的に機械が長い連続したプロセスの間に過熱することを防ぐ非常に有効な冷却装置が装備されています。この冷却機械はより均一な熱配分およびより大きい信頼性、また仕事区域の改善された耐久性を提供します。最後に、ディスコDFD 641はまた人および機械両方のための安全そして保護の高度のレベルを提供します。このツールには、ブレードとウェーハデブリを安全かつ効果的に管理する集塵装置アセットと、ブレードとの手動接触を防ぐインラインレーザー安全モデルが装備されています。さらに、DISCO DFD641は、エラーを検出してブレードを自動的に停止させ、トラブルシューティングと修理を容易にする自動エラーチェック装置を備えています。全体として、DFD 641は精密スクライビングとダイシングに理想的な選択肢であり、保護された作業環境の安全性と快適性を備えた信頼性と生産性の高いパフォーマンスを提供します。全方向性モーションドライブ、高度なリンスおよび冷却システム、および自動エラーチェック機能を備えたDFD641は、あらゆる半導体処理システムに最適です。
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