中古 DISCO DFD 641 #293642246 を販売中

ディスコDFD 641は、ウェーハ処理手順の高精度かつ正確な要件を満たすように調整された多機能スクライビング/ダイシング装置です。手動操作を必要とせず、ダイシング用にウェーハ上の細い線を自動的にスクライブすることができます。ディスコDFD641には、細い線の厚さを検出できる高感度キャパシタンスセンサが搭載されており、細い線の深さを正確に測定および制御することができます。さらに、基板への熱を最小限に抑え、材料を傷つけることなく精密なスクライビングとダイシングを実現します。ユニットのコアは、スクライブとダイシングという2段階のプロセスです。スクライビングステージでは、加工するウェーハの種類に応じて、最小直径10ミクロン/秒でウェーハ上の複雑な細い線を400 mm/sで切断することができます。この薄線幅は、目標値の5％以内±正確です。さらに、処理されている材料に応じて、1時間あたり最大15000のスクライブラインを生産することができます。ダイシング段階では、このツールは空気圧を使用してダイシングされた部分をウェーハフレーム自体から分離します。使用される圧力量を正確に制御することにより、ウェーハを損傷を与えることなく目的の形状に正確に分割することができます。モデルには、プロセスの要件に応じて選択できる複数の操作モードが含まれています。これらには、ワンパス、ハーフエッチング、エッチング保護モードが含まれます。ワンパスモードでは、機器は1つの連続プロセスでスクライブとダイシングを実行します。ハーフエッチモードでは、スクリブラインは最初に空気圧によってエッチングされ、それからダイシングが行われます。最後に、高精度スクライビングプロセスが必要な場合に使用されるエッチング保護モードでは、ウェーハの損傷を避けるためにエッチングプロセスを一時的に停止することができます。さらに、DFD 641には、処理時に最高の性能と精度を保証する複数のフェイルセーフ機構も含まれています。内蔵の故障防止コントロールユニットを使用して、異常またはエラーが発生したときに検出し、プログラムされたスクライビングまたはダイシングプロセスからの偏差を自動的に検出して修正することができます。また、材料プロセスを管理するためのいくつかの機能が装備されています、デジタルノズル距離制御など、ノズルは、任意の種類の損傷を軽減するために、いつでもウェーハと接触しないことを保証します。全体として、DFD641は非常に高度で効率的な機械であり、安定した正確で高精度なスクライビングおよびダイシング手順を提供することができます。その組み込みの安全メカニズムとその様々なモードと機能の広い範囲は、ウェーハ加工業界の専門家のための理想的な選択肢となります。