中古 DISCO DFD 640 #9279499 を販売中

ディスコDFD 640は、半導体産業のために設計されたプログレードスクライビング/ダイシング機器です。このシステムは、ウェーハを水平に動かすことができる自動u-frame（またはXY）ステージと、スクライブ中にウェーハを保持するために使用される垂直ステージサスペンションで構成されています。精密コントローラを使用して、ウェーハステージの動きを制御し、スクライブラインの正確な微調整を提供します。スクライビング用のウェーハを準備するために、このユニットにはエッジプロファイラが装備されています。これは、ウェーハのエッジの形状と粗さを検出し、機械のポジショナーがスクライブラインを正確に見つけるためのデータを提供するために使用されます。追加のアタッチメントを使用すると、ウェーハ上のアライメントマーカーを手動で配置できます。実際のスクライブはレーザースクライバーによって行われます。柔軟な制御キャビネットにより、スクライビームを正確に調整できます。スクライバーには、4つの波長（グリーン（532nm）とバイオレット（410nm）レーザー、650nmのダイオードレーザーとファイバーレーザーが装備されており、100mWから200mWまでの出力電力に設定されています。DISCO DFD640はダイシング操作も可能です。水冷スピンドルは、ウェーハをダイシングするためのツールとして機能するダイヤモンドエッジブレードを供給する2つまたは4つのモーターを駆動するために使用されます。主軸のZ軸は可変的な切断深さのために自動的に調節することができます。アセットには、スクライビングとダイシングのサイクル中に任意の偏差を検出するように設計された監視モデルもあります。それはこれらの偏差をいつでも検出し、それ以上の損傷を防ぐためにオペレータにデータを提供できます。これらの技術を組み合わせることで、DFD 640は高精度のスクライビングおよびダイシング操作を提供しつつ、最高の効率を提供します。また、様々な素材に対応しており、様々なウエハ加工用途でご使用いただけます。DFD640は、信頼性が高く、正確で費用対効果の高いスクライブとダイシングソリューションを探している企業にとって理想的な選択肢です。