中古 DISCO DFD 640 #9266371 を販売中

ディスコDFD 640は、ディスコ株式会社が設計し、半導体およびデバイス製造における専門的な産業用に設計されたスクライビング/ダイシング装置です。このシステムは、基板ホルダー、スクライビングヘッド、モーションコントロールユニットの3つの主要コンポーネントで構成され、それぞれ6軸レイアウトに統合されています。基板ホルダーは、最大8 「x 8」のサンプルを取り出し、エアクッションユニットを介してホルダーに固定します。このクッション機はホルダーを通して真空を作り出し、熱膨張の影響を最小限に抑えます。これにより、各サンプルからの正確な測定が保証されます。スクライビングヘッドは、UVレーザーを光源とする高解像度X-Yシングルポイントスキャンアセットを備えたツールのコアです。このレーザーは各軸で最大1µm分解能が可能で、両面パターンをスクライブするときに完璧な精度を提供します。精度を高めるために、スクライビングヘッドには、サンプルの輪郭に応じて自動的にレーザー位置を調整する自動フィーチャー認識（AFR）モデルも組み込まれています。モーションコントロールユニットは、基板表面を正確に移動する役割を担っています。精密モーターエンコーダとマイクロステッピングドライバを搭載し、詳細で正確なパターンスクライビングを実現しています。また、装置はX-Y-Z軸に沿って最大8m/sの速度で移動することができます。このシステムには、スクライビング操作を制御するための2次元マスクエディタと組み合わせて使用できる統合ソフトウェアも付属しています。さらに、ユニット内の埋め込みプロセス制御ソフトウェアにより、処理後のスクライブされたパターンの詳細な検査と分析を提供することができます。全体的に、ディスコのDFD640は高速、正確さおよび信頼性を特色にする強力な機械です。量産と少量のスクライブとダイシングの両方に適しており、半導体産業の製造に有利なツールです。