中古 DISCO DFD 640 #293660524 を販売中
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ディスコDFD 640は、マイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される高精度スクライビングおよびダイシング装置です。このシステムは、サンプル表面上にさまざまなマイクロツールを迅速に配置し、サンプル材料をスクライブまたはダイシングすることによって機能します。その結果生じるマイクロエレクトロニクス部品は、半導体デバイスを作成するために使用されます。DISCO DFD640は、高速静的XYステージを使用して、スクライバーまたはダイシングブレードをサンプル表面上の指定された場所に正確に操作します。XYステージは、最高レベルの精度と再現性を確保するために、0。015 𝜇m解像度と0。1 𝜇mの再現性を備えています。XYステージは、最大6,000 𝜇m/secondの速度で移動することができ、その種の最速の1つになります。DFD 640には自動誘電体配送ユニット（DFD）が装備されており、スクライブおよびダイシング工程中に低粘度誘電体をブレードに供給する役割を担っています。これにより、チッピングを防止し、機械のプロセスの再現性と製品歩留まりを向上させます。このツールはまた、ブレード温度をプロセス全体で最適なレベルに維持するためのアクティブなブレード温度制御を提供します。標準のDFD640資産には、真空ワークテーブル、ダストシュート、ビジョンモデル、専用PCが含まれています。真空テーブルはサンプルをしっかりと固定し、スクライビングまたはダイシングプロセス中にサンプルが移動するのを防ぎます。ダストシュートは、サンプルから除去されたすべての粒子と材料をキャプチャします。ビジョン装置は、サンプルが適切にカットされていることを確認するために、サンプルのポストプロセスをすばやく検査します。PCはXYステージ、DFDおよび他のシステムパラメータの直接制御を提供します。ディスコDFD 640は、最高品質のコンポーネントとシステムに比類のない精度と再現性を提供します。さまざまなマイクロツールを正確に操作できるため、マイクロエレクトロニクス部品、科学研究用サンプル、医療および航空宇宙機器用コンポーネントの製造に最適です。
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