中古 DISCO DFD 640 #293602399 を販売中
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DISCO DFD 640は最先端のスクライビング/ダイシング機器で、ウェーハを自動で効率的に分離して処理します。ワイヤー切断、スクライビング、ノコギリ/レーザー切断を組み合わせて、元の基板から材料の薄いスライスを正確に切断します。このマシンは、ウェーハの迅速なロード、スクライブ、およびアンロードを可能にし、敏感なプロセスで多目的で信頼性の高い処理を提供します。ディスコDFD640は、大きなベースと複数のアタッチメントモジュールで構成されています。ベースユニットには、スクリブヘッド、3つのロータリーステージ、樹脂コーティングステーション、およびいくつかの光学部品が収納されています。スクライブヘッドは、精密な切断を可能にするために、さまざまな形状とサイズのダイヤモンドチップブレードを保持しています。ロータリーステージは、ウェーハの回転位置を調整するために使用され、エアベアリングモータによって駆動されます。樹脂コーティングステーションは、ウェーハの表面に液体媒体の薄膜を適用するために使用されます。光学部品は材料の不完全さおよび欠陥を検出するのに使用され、正確で、一貫した結果を提供します。DFD 640は、最大直径6インチ(15 cm)のウェーハを加工するように設計されています。最小線幅25ミクロンの1ミクロンから微細なスクライビング操作が可能です。このマシンはまた、最適な結果を確保するために、3次元アライメントシステムを備えています。これにより、ブレードの正確な位置決めが可能になり、精度と再現性が向上します。DFD640には高度な安全機能もあります。圧力センサーと温度センサーを使用して、危険な状況が近づいているときにオペレータに警告します。また、高度なダスト管理ユニットを備えており、ウェーハの汚染や損傷を最小限に抑えることができます。全体的に、DISCO DFD 640は制御されたスクライビングおよびダイシング操作のための優秀な機械です。その高度な機能と正確な切断と正確なアライメント機能は、敏感なプロセスに最適です。その信頼性の高い性能と簡単なメンテナンス手順を組み合わせることで、ウェーハを個別の部品に加工するための理想的なツールとなります。
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