中古 DISCO DFD 6361 #9279474 を販売中

ディスコDFD 6361は、ダイシングダイアタッチ、ダイシング前研削（DBG）、リソグラフィー、ウェハアレイボンディング（WAB）など、幅広い用途に対応する精密スクライビングおよびダイシングが可能なスクライビングおよびダイシング装置です。DISCO DFD6361は、精度、スピード、シンプルさ、信頼性を最適に組み合わせて設計および設計された最先端の自動ダイシングマシンです。DFD 6361は、競合するシステムとは一線を画す機能を備えており、シリコンやガラスなど様々な基板材料の正確かつ効率的なスクライビング、ダイシング、面取りが可能です。DFD6361はスクライビングユニットとダイシングユニットの2つのユニットで構成されており、用途に応じて柔軟に組み合わせることができます。8インチまでの基板加工が可能で、スクライビングユニットには幅1〜2。5mm、長さ4〜12mmの様々なスクライビングブレードを装備できます。ダイシングユニットは、高精度のXYステージに搭載されたダイシングソーを搭載し、最大30 μ mの正確で均等に間隔のあるダイシング深度を実現します。基板表面の目視検査が可能な高解像度CCDカメラを搭載。この機能により、異なるブレード形状を使用することで、モザイクやテキストロゴを作成することができます。高度な制御装置は、スクライビング速度、ダイシング速度、フィードレート、プロセス圧力などのパラメータのプログラミングを可能にします。このツールはまた、迅速なレシピ変更を容易にし、ダイアタッチ、プリカット、ファインカットのダイシングを可能にします。アセットにはクイックリリースアームが装備されており、工具を使用せずに簡単にブレードを交換できます。スクライビングブレードパスとダイシングブレードパスを座標平面内に設定して、より迅速かつ正確な切断を行うことができます。このマシンはまた、切断プロセスをサポートするために調整可能なローラーブレードホルダーを備えた高度なライトガイドモデルを備えています。照明ガイド装置は、切断中に基板を基板から持ち上げ、表面の接着性を低減し、スクライビングとダイシングプロセスをスムーズにすることができます。さらに、ソーブレード保護のためのライトカーテンや、安定性を向上させるためのアンチチルトボールなどの統合安全機能を提供します。自動化された基板ローダーとアンローダーを追加して、処理を高速化することもできます。ディスコDFD 6361は、ダイアタッチ、DBG、 WAB基板に適した汎用性と精度の高いスクライビングおよびダイシングユニットです。これは、材料の範囲で優れた切削結果を提供することができる信頼性の高い、効率的かつ正確なマシンです。